原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
钛酸钡薄膜的制备及其场发射特性研究
钛酸钡薄膜的制备及其场发射特性研究
1 1* 2
刘爱青 ，元光 ，顾长志
1 中国海洋大学物理系 青岛 266071
2 中科院北京物理研究所 北京 100080
摘 要：利用钛酸钡（BaTiO3 ）薄膜替代了金属－氧化物－硅 （MOS ）结构冷阴极的氧化物
绝缘层，并利用场发射扫描电镜、X射线衍射、EDS分析表征了钛酸钡薄膜。观察到低起始阈
值的场发射现象，对可能的场发射机理进行了讨论。
关键词：场发射、钛酸钡、磁控溅射
The preparation and field emission properties of
Barium Titanate
1 1 2
Liu Aiqing ，YuanGuang ，Gu Changzhi
1
Department of physics, Ocean university of China , QingDao,266071, China
2
Institute of Physics, Chinese Academy of Sciences, BeiJing,100080, China
Abstract
The BaTiO3 (BT) films were deposited on silicon substrate as insulator layer to substitute the
conventional oxide layer in electron emitter with metal-oxide-semiconductor structure （MOS ）.
The films were characterized by scanning electron microscope (SED), X-ray diffraction (XRD)
and energy-disperse spectrum （EDS ）. A field electron emission was observed at bias as low as 3V
and the possible mechanism of field emission was discussed.
Keywords: field emission; BaTiO3 ; magnetron sputtering
1、引言：
目前占主导地位的显示器件是阴极射
线管CRT （Cathode Ray Tube），技术最为 效率低的缺点。
成熟、显示质量优良且价格廉价，但它存在 一个理想的场发射阴极应该具有驱动
的突出缺点是体积庞大,面临各种平板显示 电压低、发射效率高、电流密度大、寿命长
器的巨大挑战。场发射显示技术作为CRT的 等特点。一个可行的途径是利用某些功能材
平板化表现出它的优越性。场发射阴极是场 料具有从介电材料可以转变为半导体材料
发射显示技术的核心, 其中阴极材料和结 的特性 （如钛酸钡 （BaTiO 5
3 ）、氧化锌等），
构是关键。人们已经广泛研究过多种场发射
文档评论（0）