TiO_2SiO_2双层减反膜在太阳电池上的应用.pdf

第30卷第11期 太阳能学报 V01．30．No．1l 2009年11月 ACTAENERGLAESOL^RISSINICA Nov．．2009 Ti02／Si02双层减反膜在太阳电池上的应用 余跃波1，孟凡英1，郭群超2，江民林1，胡宇1 (1．上海交通大学太阳能所，上海加0240；2．上海交大泰阳绿色能源有限公司，上海200240) 摘要：利用二氧化硅(siQ)对太阳电池表面的钝化作用，对传统的二氧化钛(TiQ)单层减反膜进行了改良。基 于理论模拟分析了光反射率随膜层(T；02／si02)厚度变化规律，结合实验上si02最佳厚度经验值，制备了晶体硅太 阳电池(即节q，s避，si)，并和刚，，si结构的品体硅太阳电池相比较。分别测试了少子寿命、反射率、电性能参数 等，结果表明这种改良后的Ti02减反膜也可以取得很好的减反效果和钝化效果。镀有Ti02／si02双层膜与SiN，减 反膜绒面晶体硅片的积分反射率分别为4．9％和3．9％；使用以上两种不同减反膜制备的太阳电池的开路电压均可 达到0．62v。可见这种啊伤，si02双层膜有望在将来的生产中得到具体应用。 关键词：啊Q；减反膜；钝化；太阳电池 中图分类号：11(514文献标识码：A 0引言 1理论模拟分析 Tio，薄膜具有较大的折射率且易于调节、工艺 为了尽可能减小太阳光在电池表面的反射损 简单，比较适宜作为减反射膜，故在早期的太阳电池 失，需要对减反膜的膜厚和折射率做一些优化计算。 生产中一般使用TiQ薄膜作为光学减反膜J】。但对于单层减反膜，当4n。dl-A。时，反射率有最小 Tiq薄膜对晶体硅没有钝化作用汜]，以至于使用值： 7riq薄膜作为减反膜的太阳电池的开路电压较低， 光电转换效率难以提高。因此被同时具有很好减反 尺=(著蓑)2凡l+，10n2 式中，凡。、d。——分别为减反膜的折射率和厚度； 效果和钝化作用的siN。减反膜所取代b’4J，所以在 目前的太阳电池生产中大多使用SiN。作为减反膜。 n。——空气或玻璃介质的折射率；n：——衬底的折 射率；A。——单层减反膜的中心波长[9]，在太阳电池 siN。减反膜虽有很多优点，但其与Ti02减反膜相比 存在生产成本较高、封装之后反射率较高的问题。 单层减反膜设计中，一般选择A。=600啪，此时太阳 为了降低太阳电池的生产成本，很有必要制作出一 电池町以有效地吸收更多太阳光。 种具有钝化作用的低成本减反膜。 从上式可以看出当凡，=~／‰疗：时反射率尺=o。 本文在参考实验室高效电池制备方法的基础 在封装前：，t。=l，晶体硅的折射率为儿：=3．9，则n。 上，对传统的单层Ti魄减反膜进行了改良。首先在 =1．9r7时，反射率尺=O。siN。的折射率通常为 晶体硅表面热氧化生长一层si02薄膜作为钝化 2．0，Ti02薄膜折射率通常为2．3，显然在封装前SiN。 层[5’6]，然后在S她薄膜上面制备一层Ti02薄膜减 膜性能占优势；封装后：在封装材料(玻璃、EVA)的 小反射率，形成Ti02／Si02双层减反膜。使用这种方 折射率‰=1．46，则凡，=2．3时，反射率R=0，此时 法制备的太阳电池可以得到较高的开路电压和很好 币02薄膜折射率与理论计算的最佳减反膜的折射率 的光电转换效率，且生产成本较低一’8]。 较为匹配，光的反射损失更小。