以无机盐为原料溶胶-凝胶工艺制备LaAlO3薄膜.pdfVIP

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2015-09-29 发布于湖北
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以无机盐为原料溶胶-凝胶工艺制备LaAlO3薄膜.pdf

第卷第期硅酸盐学报， 31 3 Vol.31 No.3 年月， 2 0 0 3 3 JOURNALO THECHINESECERAMICSOCIETY March 2003 !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! ## 简报以无机盐为原料溶胶凝胶工艺制备薄膜 # # ~ LaAlO3 殷明志，姚熹，汪敏强，吴小清，张良莹（西安交通大学电子材料研究所，710049 西安）摘要：以无机盐为原料，利用溶胶凝胶工艺在硅衬底上制备了薄膜。（）· 和（）· 的冰醋酸溶液通过试剂 - LaAlO La NO 6HO Al NO 6HO 3 3 3 2 3 3 2 交换形成金属醋酸盐的冰醋酸溶液，乙酸酐（）能除尽硝酸根和结晶水，乙酰丙酮（）部分取代醋酸盐分子中的醋酸根形成的 CH CO O AcAc 3 2 （）（）其部分水解形成（）（）。而（）（）聚合并与甲纤维素（）形成线状结构使溶胶易 M OAc 3-I AcAc I M AcAc 3-I OH I M AcAc 3-I OH I MCL LaAlO3 于成膜，凝胶薄膜经过，退火形成立方钙钛矿结构。薄膜的折射率为，介电常数为，介电损耗 LaAlO3 650!750 C 30min 1.74!1.95 23!26 （）在 -4 -4之间。 tan! 2.110 ! 2.410 关键词：铝酸镧薄膜；溶胶凝胶工艺 - 中图分类号：文献标识码：文章编号：（） TM215 A 0454-5648 2003 03-0296-04 FABRICTION OFLaAlO FILMSB SOL~GELPROCESSWITHCORRESPONDINGINORGANICS