制备工艺参数对镁合金表面沉积TiCN薄膜耐蚀性的影响.pdfVIP

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2015-09-29 发布于湖北
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制备工艺参数对镁合金表面沉积TiCN薄膜耐蚀性的影响.pdf

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制备工艺参数对镁合金表面沉积TiCN薄膜耐蚀性的影响.pdf

· · 制备工艺参数对镁合金表面沉积TiCN薄膜耐蚀性的影响／张兴元等 115 制备工艺参数对镁合金表面沉积TiCN薄膜耐蚀性的影响” 张兴元，江四川，杨辉，张义豪，黄佳木 (重庆大学材料科学与工程学院，重庆400045) 摘要采用射频磁控溅射法在AZ31镁合金表面沉积TiCN薄膜，研究了制备工艺参数对TiCN薄膜耐腐蚀性能的影响。结果表明，在Ti靶功率50w，C靶功率50w，N2流量20sccm，溅射时间4．5h条件下，镀TiCN薄膜 A／cm2，比同的锾合金基体具有最佳的耐蚀性，其在3．5％(质量分数)NaCI溶液中的腐蚀电流密度为1．664×10 等条件下纯锾合金基体的腐蚀电流密度(1．785×10_5A／cm2)下降了1个数量级。关键词磁控溅射镁合金TiCN薄膜耐腐蚀性中图分类号：TGl46 文献标识码：A on oftheAZ31 Effectof ParametersCorrosionResistance Deposition CoatedTiCNFilm Alloy Magnesium by ZHANG Sichuan，YANGHui，ZHANGYihao，HUANGJiamu Xingyuan，JIANG ofMaterialsScienceand 400045) University，Chongqing (College Engineering，Chongqing AbstractTitanium were onAZ31 radio carbonitride(TiCN)filmsdeposited by frequency magnesiumalloy on resistance ofthe influenceof thecorrosion magnesium magnetronsputtering．Thedepositionparameters property thatwhentheflowof was20 withTiCNfilmwas resultsindicated sccm， alloydeposited investigated．The nitrogen time best ofcorrosionresis- the ofcarbon andtitaniumwere50W，and was4．5h，the power