化学溶液沉积(CSD)法制备YBCO薄膜研究进展.pdfVIP

低温与超导 超导技术 Cryo．＆Supercond． 第38卷第9期 Superconductivity V01．38No．9 张黄莉1，赵高扬2 (1．西安邮电学院，西安710121；2．西安理工大学，西安710048) 摘要：采用CSD法制备YBCO薄膜可精确的控制组份，不需要真空设备，成为近年来的研究热点之一。文中概 述了CSD法制备YBCO薄膜的研究进展，总结了在不同的CSD工艺中，起始原料、化学添加剂对YBCO薄膜热处理 时间、质最、可重复性等因素的影响。 关键词：化学溶液沉积法；YBCO薄膜；前驱液 Research ofYBCO films chemicalsolution developmentsuperconductingpreparedby deposition ZhangHuangli‘，ZhaoGaoyan92 of and (1．Xihn Posts Telecommunications，Xihn University 710121，China； 2．Xihn of UniversityTechnology，Xihn710048，China) film ofits Abstract：ChemicalSolution oneoftheattractivemethodstofabricateYBCObecause Deposition(CSD)iS precise controlof the theresearch ofYBCOfilms CSDmethodwere composition，non—vacuumapproach．Inpaper progress by prepared summarized．Thedifferentstartmaterialsand additivesinCSDmethodthatinfluencethecalcination organic time，quality，repro— andcost—effectiveofYBCOfilmswere ducibility analyzed． solution solution Keywords：Chemicaldeposition(CSD)，YBCOfilm，Precursor 1 引言 在CSD法制备YBCO薄膜的过程中，首先必 须制得稳定的前驱液。根据起始原料、有机添加 随着超导电子器件向小型化、集成化方向发 剂、溶剂的不同，其前驱液的制备方法有很多。常 展，超导薄膜在基础研究和器件应用方面将占据 用的起始原料有金属盐(如醋酸钇、醋酸钡、醋酸 铜、硝酸钇、硝酸钡、硝酸铜等)∞’川，金属氧化物 越来越重要的地位。YBCO超导薄膜因在77K具 (如氧化钇、碳酸钡、氧化铜)¨9，YBCO粉