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卢瑟福背散射RBS）实验报告 一、实验目的 1、掌握RBS分析原理，了解实验装置； 2、初步掌握RBS的分析方法。 实验原理 当入射离子能量远大于靶中原子的结合能(~10ev量级),并低于与靶原子发生核反应的能量(一般100kev/amu ( E (1Mev/amu)时,离子在固体中沿直线运动,入射离子主要通过与电子相互作用而损失能量,直到与原子核发生库仑碰撞被散射后又沿直线回到表面.在这个背散射过程中包含四个基本物理概念.它们是: a)两体弹性碰撞的运动学因子K b)微分散射截面( c)固体的阻止截面( d)能量歧离 这四个基本概念是背散射分析的理论基础和应用的出发点也是限制其应用的最终因素. RBS的分析原理具体来说如下： 1、运动学因子和质量分辨率 1）运动学因子的定义：K=E1/E0，其中E0是入射粒子能量（动能），E1是散射粒子能量（动能）。 由于库伦散射是弹性散射，动量和能量守恒可以得到 由运动学因子公式可以看出：当入射离子种类（m），能量（E0）和探测角度（θ）一定时，E1与M成单值函数关系。所以，通过测量一定角度散射离子的能量就可以确定靶原子的质量数M。这就是背散射定性分析靶元素种类的基本原理。 2）质量分辨率的定义 如δE是RBS探测器系统的能量分辨率，也就是可分辨的背散射离子最小的能量差别。那么RBS的质量分辨率δM为： RBS质量分辨率: δM是