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2015-09-30 发布于重庆
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光学自由曲面的检测方法

第 1卷　第 1期　中国光学与应用光学 Vol. 1　No. 1 　　　　　　　　 2008年 12 月　　　 D ec. 2008 Ch ine se Jou rnal of Op tic s and App lied Op tic s 文章编号　167429 15 (2008) 0 1009208 光学自由曲面的检测方法 1 1, 2 张　新 ,许英朝 ( 1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术研究中心 ,吉林长春 130033; 2. 中国科学院研究生院 ,北京 100039) 摘要 :针对自由曲面光学元件离轴像差小 ,应用广泛 ,但检测难度大 ,加工精度不够高等特点 ,对现行的自由曲面光学检测方法进行了分析。提出了在自由曲面光学元件的不同加工阶段宜采用不同的检测手段 ,根据加工的步骤依次采用三 ( ) 坐标机、轮廓仪、光学干涉测量等方法为好。介绍了子孔径拼接技术的发展 ,叙述了利用计算全息 CGH 和反射光栅摄影测量法检测光学自由曲面等两种有着良好发展前景的方法。最后 ,给出了利用 CGH 检测三次位相板的实例。关　键　词 :光学检测 ; 自由曲面 ;坐标测量 ;误差评定 ;计算全息中图分类号 : TH703; TQ 17 1. 65　　文献标识码 : A Study on freeform optica l testing 1 1, 2 ZHAN G X in , XU Yingchao ( 1. Op tica l Technology R esea rch Cen ter, Chang chun Ins titu te of Op tics, F ine M echan ics and P hy s ics, Ch inese A cadem y of S ciences, Chang chun 130033, Ch ina; 2. Gradua te Un ivers ity of Ch inese A cadem y of S ciences, B eij ing 100039 Ch ina) A b stract: Freeform op tic s ha s a lots of advan tage s over trad itional symm etrical len se s, bu t its fab rication accu racy is still lower than that of trad itional symm etrical op tic s becau se freeform op tic s is d i