氢等离子作用下FeCo对金刚石膜刻蚀的研究.pdfVIP

第17卷第l期 真空与低温 2011年03月 VacuumCryogenics 17 氢等离子作用下Fe、Co对金刚石膜刻蚀的研究 满卫东1，陈朋1，吴宇琼2，吕继磊1，董维1，朱金风1 (1．武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室，湖北武汉430073； 2．江汉大学化学与环境学院，湖北武汉，430056) 摘要：金刚石具有很高的硬度。加工困难。为寻找一种刻蚀效率较高的材料，利用微波等离子体化学气相沉积 m咖n光谱对其表面结构进行表征。结果表明：在氢等离子体的作用下，Fe、Co对金刚石表面都有明显的腐蚀作用， 其中Fe的刻蚀速率较高。并且可以通过对溶碳材料的厚度控制，来实现对刻蚀速率与刻蚀量的有效控制。对刻蚀后 的样品用混合酸及丙酮处理后，得到了可与原始金刚石相媲美的质量。 关键词：金刚石膜；溶碳材料；刻蚀；MPcVD 中图分类号：0484 文献标识码：A DoI：lO．396哪．i咖．10016—7086．2011．01．004 THEGRAPHITIZATIoNEFFECToFDISSoLVEDCARBoN ON NIATERIAL—FE，CO THECHEMICALVAPoR．DEPoSITEDDnMoNDFILMSUNDERTHEEFFECT HYDRoGENPLAs】ⅥA MAN Ji—Ieil，DoNGweil’zHUJh卜f毫鸣1 wei_do呜。，c硼狲Pe鸣1，wuY岫ion—LV (1．P阳vindm 0fn鹪m andAdva∞edMateriaIs’ KeyLabo髓tory alemistry WIIhanhIs廿tII地of 43∞73CM曲； 1khnolo斟，WlIhan 2．schooIof andEnv重lm珊蛐tm Chemtstry 43∞56，China) E呜il_陡ring’JjaJ呜h眦Unive嘲哪，Wubn Abstnlct：舢a di姗nd chemical t0beetched p舢isiIlg抵trical眦terial’CVDwitIl恤uniquepmperti∞i8衄icUdt 柚df曲ric曲ed．hItIIe asuitable certain“ckne鹅0f etc舶flgmteriala polycry8talli鹏 paper．f缸tIIepurpo孵of丘ndillg 61m8 iII tllen衄der￡I抡 di锄∞d n血mwave We糟8”th∞ized8ili嘲by pla8眦chemicalVapordep∞i石on(MPCVD)明d effectofdis∞lvedc舡bon corrosiVeaction0f hydrogenpIas嫩卸dt