Cu薄膜的瞬态反射率及退火处理的影响.pdf

r I第33卷2 一V01．33第№ ． [ L 一期2— ■●■●■■ JOURNAL OFJIANG5LUNl、‘ERSil’Y’INaturalsclcncc Edmon) doi：10．3969／j．issn．1671—7775．2012．02．017 Cu薄膜的瞬态反射率及退火处理的影响 任乃飞，王荣校，顾佳方，陈秋月 (江苏大学机械工程学院，江苏镇江212013) 摘要：为了研究激光辐照金属薄膜后的超快热化动力学过程，利用磁控溅射技术在玻璃衬底上制 备了Cu薄膜样品，同时取部分样品进行不同温度的退火处理．运用飞秒激光泵浦一探测技术观测 了薄膜表面的反射率变化，研究了薄膜退火处理对反射率的影响．结果表明：飞秒激光作用下，Cu 薄膜的瞬态反射率曲线分为稳定、快速上升、衰减和恢复4个阶段；退火处理对反射率曲线的峰值 和衰减阶段的时间有影响，退火温度越高，反射率变化的峰值越小，衰减阶段所用的时间越长，即电 子的冷却速率越慢；基于双温模型预测的电子温度与试验结果大致吻合，但是预测的电子冷却时间 比试验要长． 关键词：Cu薄膜；瞬态反射率；泵浦一探测；飞秒激光；双温模型 文献标志码：A 中图分类号：0484；TN247 Transient ofCufilmsandinfluenceof reflectivity annealing Ren Naifei，WangRongxiao，GuJiafang，ChenQiuyue Mechanical of (School Engineering，JiangsuUniversity，Zhenjiang，Ji∞轳u212013，China) orderto uhrafastthermalizationof laserirradiated Abstract：Instudy dynamicsshort·pulsed metal，Cu atdif- filmswere on substrates some wereannealed slags magnetron deposited by sputtering，andsamples ferent transient offilmswagdetectedfemtoseeondlaser temperatures．Therefleetivity by pump—probe， on thetran· andtheinfluenceof transient Wagalsodiscussed．Theresultsshowthat annealing refleetivity sient curveofCufilmscanbedividedintofour