TiO2微图纹结构的制作.pdfVIP

第17 卷 第2 期 化 学 物 理 学 报 VoI. 17 ，No. 2 2004 年4 月 CHINESE JOURNAL OF CHEMICAL PHYSICS Apr. 2004 1003-77 13/ 2004/ 02-215-4 TiO2 微图纹结构的制作＊ 刘建平， 何平笙＊＊ （中国科学技术大学高分子科学与工程系，合肥 230026 ） 摘 要： 用软刻蚀技术中具有代表性的方法———微模塑法和转移微模塑法，在普通光学玻璃表面成功制备出 TiO2 微阵列结构. 首先，以钛酸四丁酯为前驱物，通过溶胶-凝胶法合成出TiO2 溶胶，然后用表面带有微图纹的有 机硅橡胶PDMS 作为弹性印章分别对所制得的TiO2 溶胶进行微模塑及转移微模塑加工，在70C 下溶胶凝胶，进 而让凝胶材料在550C 下焙烧2 h 得到TiO2 微结构. 用光学显微镜对所得到的微结构进行了显微观察，显微照片 显示，微模塑法和转移微模塑法在制备材料微结构方面复制精细度和重复率都比较令人满意. 同时，还初步探讨 了影响最终图纹复制效果的凝胶温度、外加压力及模板等因素. 关键词： 软刻蚀；微模塑；转移微模塑；二氧化钛 中图分类号：O631 文献标识码：A Fabrication of TiO Microstructure ＊ 2 Liu Jianping ， He Pingsheng ＊＊ （Dep artment of Polymer Science and Engineering ，Uniuersity of Science and Technology of China ，Hef ei 230026 ） Abstract The representative soft Iithographic technigues are used ，which are micromoIding and microtransfer moId- ing methods to fabricate the micro array patterned titanium dioxide on gIass substrates. FirstIy titanium dioxide soI was synthesized by soI-geI method using tetrabutyI titanate as the precursor ，then the pre-patterned poIy（dimethyIsi- Ioxane ）eIastomeric stamp was used to moId the TiO2 soI on gIass substrate by micromoIding and microtransfer moId- ing methods ，micro patterned TiO2 soI was geIIed at 70 C with 0 . 5 N pressure appIied on the PDMS stamp ，further heat treatment of TiO2 geI by anneaIing at 550 C for 2 h produced the TiO2 microstructure. The TiO2 microstructure was observed by the optic