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Ⅲ-Ⅴ族半导体化合物快速热退火扩Zn方法研究.pdf
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:
doi 103969/ jissn1003353x201003012
族半导体化合物快速热退火扩 方法研究
ⅢⅤ Zn
1 2 3
肖雪芳,谢生,陈朝
( 厦门理工学院电子与电气工程系,厦门 ; 天津大学电子信息工程学院,
1 361024 2
天津 ; 厦门大学物理系,厦门 )
300072 3 361005
: ,
摘要以 和 材料为例对化合物半导体材料中的快速热退火扩 可行性进行比较
GaAs InP Zn
分析,研究表明,化合物半导体材料中快速热退火扩 可行性与化合物半导体材料的分解温度
Zn
有着密切关系化合物半导体材料分解温度越低对扩散源帽层和阻挡层要求越高针对
。 , 、 。 InP
材料高于 就分解、低温 扩散困难的特点,提出了直接溅射 层在 低温扩散的方
360 ℃ Zn Zn 410 ℃
法对 快速热退火扩散结果进行分析初步分析表明其掺杂机理是形成合金结
。 InP , 。
关键词化合物半导体锌扩散快速热退火砷化镓磷化铟
: ; ; ; ;
: : : ( )
中图分类号 文献标识码 文章编号
TN3054 A 1003353X 2010 03024503
Study on Zn Diffusion in Semiconductor Compounds Using Rapid
ⅢⅤ
Thermal Annealing Process
1 2 3
, ,
Xiao Xuefang Xie Sheng Chen Chao
( , , , ;
1Dept.of Electron Engineering Xiamen University of Technology Xiamen 361024 China
, , , ;
2School of Electronic Information Engineering Tianjin University Tianjin 300072 China
, , , )
3
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