ECR 用于大面积薄膜研究.pdfVIP

第 卷 第 期 核 聚 变 与 等 离 子 体 物 理 , 年 月 用 于大面 积 薄膜研 究 的微波等离子体装置 任 育 峰 姚 鑫兹 杨 思泽 江 德仪 国 学 理 , 中 科 院物 所 北京 本文详细介绍 了 自行研 制成功 的 电子 回旋共振微波等离子体装置 的结构 、 性 能和技术指标 。 并 。 应 用 高斯计 、 法拉第 筒和 朗缪探 针对装 置 的磁 场位形分布和 等离子体 的 电流 及密度进行 了测 量 关键词 微波等离子体 装置 磁 场位形 静 电探 针 法 拉第筒 引言 、 回 一 , 电子 旋共振 微波 等离子 体作 为薄膜沉积 微细加工 和材料表面 改性 的 种重要 手 段 在 。 八 十年代 得 到迅 速 发 展 , 应 用 范 围 日益 拓 宽 电子 回旋共振 微波 等离子 体具 有 比射 频 。 , ‘ ’ 等离子 体更 高 的 电离度 ’ 放 电区 的等离子 体密度 高达 利 用这 一 特 性 可 以实 , 细 , 以 现 室 温 沉积 并 可进 行 大 规 模集成 电路 的微 加工 实验证 明 从这 种装置可