溶胶-凝胶法制备SiO2基片Er3+∶Al2O3光学薄膜.pdf

第 卷 第 期 光 学 学 报 年 月 文章编号 溶胶 凝胶法制备 基片 光学薄膜 王兴军 杨 涛 王 晶 雷明凯 大连理工大学材料工程系表面工程研究室 大连 大连铁道学院材料科学与工程系 大连 摘要! 用溶胶 凝胶法在 基片上提拉制备了掺 光学薄膜 采用扫描电子显微镜 原子力显微 镜 差热 热重分析仪 射线衍射仪研究了掺 光学薄膜的形貌和结构特性 在 烧结后 基 片上提拉 次形成厚度 掺摩尔比 的面心立方结构 薄膜具有明显 择优取向 掺摩尔 卜 ! 比 对 的晶体结构和结晶生长过程未产生显著影响 薄膜具有均匀多孔结构 平均粒径为 ! ～ 平均孔径为 表面起伏度为 掺摩尔比