溶胶-凝胶法制备耐磨宽带SiO2TiO2增透膜.pdf

第 卷 第 期 光 学 学 报 ， 年 月 ， 文章编号： （ ） 溶胶 凝胶法制备耐磨宽带 增透膜 贾巧英 乐月琴 唐永兴 姜中宏 （中科院上海光学精密机械研究所高功率激光物理国家实验室，上海 ） 摘要： 以钛酸正丁酯［ （ ）］、正硅酸乙酯（ ）为原料，采用溶胶 凝胶（ ）提拉方法在 光学玻璃 基片上镀制得高透过的 ! ! 型宽带增透膜。该增透膜的表面均匀性良好，均方根粗糙度（ ）为 ，平 ! ! 均粗糙度（ ）为 ，具有一定的耐擦除性。经 热处理，膜层中的 吸收峰已基本消失，在 光谱范围的透过率比基片的平均透过率提高 。为实现大面积涂覆“神光”装置主放大器的防爆隔板玻璃，大 幅度提高主放大器的抽运效率奠定基础。 关键词： 薄膜物理学；溶胶 凝胶；宽带增透膜；表面均匀；耐擦除 中图分类号： 文献标识码： （ ， ， ） （ ； ） ! ! ! ! （ ） ， （ ） （ ），