引线键合系统设计理论和关键技术.pdf

摘要 本文以开发面向引线键合的高速、高精密定位平台为目标，系统深入的研究 了三自由度高速、高精度定位平台的结构设计、动力学建模、高频超声换能器优 化设计以及相应的匹配电路等关键技术，并研制了引线键合精密定位平台样机。 设计了一种基于音圈电机直接驱动、新型弹性解耦的三自由度高速、高精度 引线键合定位平台。利用虚拟样机技术建立了精密定位平台的刚一弹耦合模型， 并利用定位平台的动态响应确定了最佳的弹簧刚度及预紧力，利用有限元方法对 弹性铰链进行了优化设计。对引线键合精密定位平台的静、动态特性进行了实验 研究，实验结果表明引线键合精密定位平台的动态性能良好，达到了封装平台的 设计要求。 设计了98kHz高频超声换能器。建立了系统的机电等效电路，根据一维弹 性波理论推导出其纵向振动频率方程，确定了98kHz超声换能器的初始参数。 依据系统的谐振特性进行优化设计，得到了其最佳结构参数。对系统的阻抗特性、 轴向、径向振动传递特性进行了测试，实验结果表明具有良好的振动特性。 基于复杂可编程逻辑器件(CPLD)技术，设计了具有频率自动跟踪功能的 超声换能器系统驱动电源。该电源具有放大、滤波、电路匹配及锁相频率跟踪等 功能，通过超声换能器的振动传递特性实验，验证了驱动电源的有效性。 对引线键合定位平台进行了相关实验，对平台进行了性能测试。结果表明， 平台定位最大位移为50mm，最大速度可达到0．5m／s；最大加速度可达到7．59； 重复定位精度可达至iJ士21ara，满足芯片封装等领域的极限高速、高精度需求。 研究工作为引线键合精密定位平台的进一步研究奠定了基础，也为相关定位 系统研究理论提供借鉴方法和实践经验。 关键词： 引线键合精密定位平台高频超声换能器匹配电路锁相环 ABSTRACT Inthis awire withthe dissertation，for developingbondingsystem high—speed， asinnovationstructural hi曲一precision1]iositioning，somekeytechnologies，such design，dynamic of ultrasoundtransducerand modeling，optimizationhigh—frequency the the3-DOF circuit，of correspondingmatching tablearestudied ofwire positioning systematically．Theprototypebondingprecision tablehasbeen positioning developed． Anew of wire flexibilitydecouplinghigla-speed，high-precisionpositioning tablewiththree isdriven voicecoil freedoms，which motor,is bonding directlyby of thebasisof rind-elasticmodelthe designed．On b