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第 39 卷第 5 期 光电工程 Vol.39, No.5 2012 年 5 月 Opto-Electronic Engineering May, 2012 文章编号：1003-501X(2012)05-0007-06 基于 SPR 的多层金属膜厚在线纳米测量 1 1 2 1 1 1 李艳敏 ，李孟超 ，刘芳芳 ，金 丹 ，张大伟 ，庄松林 ( 1. 上海理工大学 光电信息工程与计算机学院，上海 200093 ； 2. 上海市计量测试技术研究院，上海 201203 ) 摘要：通过对于首层金属膜的 SPR 反射光强曲线的分析利用两峰值点标记角度，同时用柱面光与 CCD 测量系统 建立无机械测角转台的反射光强角度分布测量系统。根据 CCD 接收的光强与位置对应信息经计算机处理换算为 光强角度分布曲线，并通过与库内的曲线数据进行匹配而获得膜厚数值。利用该系统对铬钛银铝等常用金属薄膜 进行了在线测控研究，得到了纳米级金属薄膜的膜层蒸镀顺序与相应的膜厚测量范围。 关键词：表面等离子体振荡；柱面光；多层金属薄膜；在线测量 中图分类号：TN06; O439 文献标志码：A doi：10.3969/j.issn.1003-501X.2012.05.002 Online Nanomeasurement of Multilayer Metal Films Thickness Based on SPR 1 1 2 1 LI Yan-min ，LI Meng-chao ，LIU Fang-fang ，JIN Dan ， 1 1 ZHANG Da-wei ，ZHUANG Song-lin ( 1. School of Optical-electronical and Computer Engineering, University of Shanghai for Science and Technology, Shanghai 200093, China; 2. Shanghai Institute of Measurement and Testing Technology, Shanghai 201203, China ) Abstract : Through analyzing the SPR reflected light intensity curve of first metal film, the two peak points on the curve are used to mark angle, and the cylindrical light and CCD are utilized to establish measurement system of reflected light intensity of angle distribution without mechanical turntable. The information between light intens