KDP晶体微纳米加工表层缺陷对其激光损伤阈值的影响.pdf

第22卷第1期 强 激 光 与 粒 子 束 V01．22，No．1 2010年1月 HlGHPOWERLASERANDPARTICI。EBEAMS Jan．，2010 文章编号： 1001—4322(2010)01—0159—06 KDP晶体微纳米加工表层缺陷 对其激光损伤阈值的影响‘ 陈明君， 姜 伟， 庞启龙， 刘新艳 (哈尔滨工业大学精密工程研究所。哈尔滨150001) 摘要：使用有限元方法分析了在激光辐照条件下，KDP晶体已加工表面存在的残余内应力、微裂纹及 微孔等多种微纳米加工表层缺陷对晶体激光损伤阈值的影响。通过分析发现：KDP晶体微纳米加工表层缺陷 的存在，会影响晶体表面的温度场及热应力场的分布，使入射激光的能量积聚在缺陷附近的很小范围内，造成 晶体缺陷处产生局部熔融现象，从而使KDP晶体产生损伤，降低KDP晶体的激光损伤阈值。针对微纳米表层 J／ 的微裂纹进行了损伤周值测试实验，结果表明微裂纹的存在会降低KDP晶体的激光损伤阈值(约降低3 cm2)，实验结果与仿真结果符合得很好。 关键词： KDP晶体；激光损伤阈值； 微纳米表层缺陷； 残余应力； 微裂纹，微孔 中圈分类号：0779 文献标志码： A doi：10．3788／HPLP0159 KDP晶体是一种广泛应用于惯性约束聚变中的非线性光学晶体，其激光损伤阈值是评价其光学性能的重 要指标，KDP晶体激光损伤阈值的大小直接影响到惯性约束聚变系统激光输出的能流密度与其自身的使用寿 命口]。现阶段，KDP晶体激光损伤阈值的实际值远低于理论值，而其研究的重点主要集中在晶体内部的稳态 损伤阈值的影响研究的较少。KDP晶体具有质软、易潮解、脆性高、对温度敏感和易开裂等一系列不利于光学 加工的特点口]。对于KDP晶体而言，由于其本身为软脆材料，在加工过程中，非常容易在晶体加工表层形成缺 陷层，尤其是在加工表层容易出现加工变质层、亚表层损伤、裂纹和残余应力等情况，而到目前为止人们对各向 异性的晶体超精密加工变质层、残余应力和亚表层损伤形成机理等许多方面问题的研究尚处于探索阶段。因 此，深入研究KDP晶体微纳米表层缺陷对其激光损伤阈值的影响，将进一步揭示晶体材料的激光损伤机制， 为其激光损伤阈值的提高提供相应的理论基础，并为KDP晶体超光滑表面的获取提供理论基础和参数依据。 1仿真模型的建立 在进行分析计算时假设：在激光加载时间内同一单元上的热流值相等。取KDP晶体的各热力学参数为： 9 密度p为2．338g·cm～、比热容c为0．746J·g叫·K～、热导率Ⅳ为0．020W·cm．1·K～、弹性模量E K～、泊松比为0．23。 为38．7GPa、热膨胀系数口为2．49×10-6 表1 KDP晶体1001)面不同晶向的残余应力 切削加工中表面层发生形状变化或组织改变时，在表 Table internalat 1 Residual stressdifferentcrystal 面层及其与基体材料的交接处就会产生相互平衡的弹性应 orientationofKDP On(001)plane 力，这种应力即表面的残余应力。无外力作用下，残余应力