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MEMS陀螺振动特性试验技术.pdf
第21卷第4期 传感技术学报 V01.21No.4
CHINESE OF AND
2008牟4月 JOURNALSENSORSACTUATORS Apr.2008
ElectricalMethodtoMeasurethe BehaviourofaMEMS Sensor
Dynamic Gyroscope
CHI
Xiao-zhu,CUIGui—zhen。
Jian,YAN
100871,China)
(InstituteofMicroelectronics,PekingUniversity,Beijing
is tofinda and oftheMEMS
Abstract:Itimportant efficientmethodtOevaluatethe
very rapid parameter
MEMS
the device’S measureswereusedwith
gyro.Totesting dynamiccharacterater,differente regarding
to and
convenience,etc.Areliableelectricmeasure totestthevibration
precision,rapidity system per-
formanceoftheMEMSdevicewas schemeswere via andex-
proposed.Severaltesting comparedanalysis
the of anddata werediscussed
periment,andwaystesting processing respectively.
words:MEMS
Key gyroscope;dynamicbehaviour;frequencyresponse
EEACC:7630;2575
MEMS陀螺振动特性试验技术
迟晓珠,崔 健,闫桂珍’
(北京大学微电子系微米/纳米加工技术国家重点实验室,北京100871)
摘 要:对于MEMS振动陀螺来说,找到一个快速有效的方法来评估其结构参数是非常重要的,比如谐振频率和阻尼系数,
应根据微机械陀螺设计和制作的不同阶段,从测试精度、测试速度和试验方便程度等方面考虑,采用不同的方法进行动态试
验。本文给出了一种能够判断MEMS器件振动特性的可靠的电测试系统,并通过分析和实验比较了几种微机械陀螺振动系
统传递函数的快速测定方法,分析讨论了微机械陀螺振动系统测试方法和数据处理等问题。
关键词:微机械陀螺;振动特性;频响函数
中图分类号:V241.5 文献标识码:A
微机械振动陀螺的正常工作需要有两个振动模 生产的器件是非常重要的。
态,分别是驱动轴和检测轴的振动模态,两个模态 在器件制作过程中,不再需要试验所有的工作
的振动在不同的预置驱动电压或气压下会有不同的
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