MEMS陀螺振动特性试验技术.pdf

第21卷第4期 传感技术学报 V01．21No．4 CHINESE OF AND 2008牟4月 JOURNALSENSORSACTUATORS Apr．2008 ElectricalMethodtoMeasurethe BehaviourofaMEMS Sensor Dynamic Gyroscope CHI Xiao-zhu，CUIGui—zhen。 Jian，YAN 100871，China) (InstituteofMicroelectronics，PekingUniversity，Beijing is tofinda and oftheMEMS Abstract：Itimportant efficientmethodtOevaluatethe very rapid parameter MEMS the device’S measureswereusedwith gyro．Totesting dynamiccharacterater，differente regarding to and convenience，etc．Areliableelectricmeasure totestthevibration precision，rapidity system per- formanceoftheMEMSdevicewas schemeswere via andex- proposed．Severaltesting comparedanalysis the of anddata werediscussed periment，andwaystesting processing respectively． words：MEMS Key gyroscope；dynamicbehaviour；frequencyresponse EEACC：7630；2575 MEMS陀螺振动特性试验技术 迟晓珠，崔 健，闫桂珍’ (北京大学微电子系微米／纳米加工技术国家重点实验室，北京100871) 摘 要：对于MEMS振动陀螺来说，找到一个快速有效的方法来评估其结构参数是非常重要的，比如谐振频率和阻尼系数， 应根据微机械陀螺设计和制作的不同阶段，从测试精度、测试速度和试验方便程度等方面考虑，采用不同的方法进行动态试 验。本文给出了一种能够判断MEMS器件振动特性的可靠的电测试系统，并通过分析和实验比较了几种微机械陀螺振动系 统传递函数的快速测定方法，分析讨论了微机械陀螺振动系统测试方法和数据处理等问题。 关键词：微机械陀螺；振动特性；频响函数 中图分类号：V241．5 文献标识码：A 微机械振动陀螺的正常工作需要有两个振动模 生产的器件是非常重要的。 态，分别是驱动轴和检测轴的振动模态，两个模态 在器件制作过程中，不再需要试验所有的工作 的振动在不同的预置驱动电压或气压下会有不同的