- 1、本文档共5页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
Mg在InGaAlP及GaP材料中的掺杂行为.pdf
第 卷第 期 半 导 体 学 报 ,
22 6 VOI .22 NO .6
年 月 ,
2001 6 CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS June 2001
!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!
Mg 在IngaalP 及gaP 材料中的掺杂行为
1 1 1 2
纪 刚 李越生 曹永明 华 铭
(复旦大学材料科学系,上海 )
1 200433
(上海华亿光电子有限公司,上海 )
2 200137
摘要:利用 分析技术,研究了在 和 材料中, 工艺参数对 的掺杂行为的影响 实验
SIMS InGaAIP GaP MOCVD Mg .
结果表明,在较高温度下, 在生长表面的再蒸发决定了 的掺杂浓度随衬底温度增加呈指数下降;而当载
Mg Mg
流子浓度饱和时,杂质 在材料中的置换填隙机制使得 的激活率随 流量的再增加反而下降 同时通
Mg Mg Cp Mg .
2
过计算得到Mg 在InGaAIP 及GaP 中的再蒸发激活能分别约为0 .9eV 和1. 1eV .
关键词: ; ; ;掺杂
InGaAIP GaP Mg
PaCC:6172V;8105E;8115G
中图分类号: 文献标识码: 文章编号: ( )
TN304 .2 A 0253-4177 2001 06-0729-04
族材料中 、 的行为进行了研究 但是,对
- Mg Zn .
!
于 在 及 材料中掺杂机制研究以及
1 引言 Mg InGaAIP GaP
您可能关注的文档
- 1 S-180型深松碎茬平整机的研制.pdf
- 10 kV电网TV铁磁谐振过电压数字仿真及研究.pdf
- 100 MHz采样速率局放在线监测智能单元的开发.pdf
- 10Cr9Mo1VNb钢高温时效后的性能及组织研究.pdf
- 10EPN-30型泥浆接力泵在疏浚工程中的应用.pdf
- 10GHz低抖动增益开关DFB激光器.pdf
- 10MW高温气冷堆给水流量调节回路的仿真研究.pdf
- 128m尼尔森体系提篮拱桥的施工控制.pdf
- 12种藏药对鸡法氏囊病毒感染鸡胚成纤维细胞能力的影响.pdf
- 15例鼻咽癌放疗后放射性脑坏死的临床分析.pdf
- 上课《归园田居(其一)》课件28张.pptx
- 色彩的魅力课件55.ppt
- 山水田园诗导学练习鉴赏.ppt
- 部编版《白鹭》课件.pptx
- 《Excel在财务中的应用》项目七 全面预算编制方法与应用 教学课件.pptx
- 《Excel在财务中的应用》项目六 利润管理决策模型与应用 教学课件.pptx
- 《Excel在财务中的应用》项目五 运营资金的管理 教学课件.pptx
- 《Excel在财务中的应用》项目四 项目投资管理决策与应用 教学课件.pptx
- 《Excel在财务中的应用》项目三 筹资管理决策模型与应用 教学课件.pptx
- 《Excel在财务中的应用》项目二 Excel 常用函数基础 教学课件.pptx
最近下载
- 新人教版小学数学六年级上册教材分析].doc
- 部编版九年级上册语文(全册)单元教材分析.doc
- 社会学概论_精品课课件(全套) (全套完整课件).ppt
- (新教材)大象版三年级上册小学科学全册教案(教学设计).pdf
- TCBMF 43-2019热塑性聚烯烃(TPO)预铺防水卷材.pdf
- Excel高级数据处理与分析(微课版)-教学大纲(课程思政版).docx VIP
- 社会学概论(第2版)PPT完整全套教学课件.pptx
- 适老化居家环境设计与改造(高职养老服务)PPT全套教学课件.pptx
- 教科版二年级科学上册全册教学设计.docx
- 2022年德阳市振兴发展企业管理有限公司招聘考试试题及答案.docx
文档评论(0)