不同型式支撑的静电硅微谐振器的性能比较.pdf

第25卷第3期 机械设计与研究 V01．25No．3 MachineandResearch Jan．，2009 2009年6月 Design 文章编号：1006-2343(2009)03-040-04 不同型式支撑的静电硅微谐振器的性能比较 沈雪瑾 (上海大学机械自动化系，上海200072，E—mail：shenxj@shu．edu．cn) 摘要：针对直脚型、蟹脚型、之字型和弓型四种支撑梁结构型式的静电梳状谐振器，介绍了符合问题实 质的五次超静定力学模型，给出了横向谐振频率、弹性系数和位移随谐振器结构参数和材料参数变化的函数关 系。经与试验结果对比，各类谐振器横向谐振频率的理论值与实测值吻合较好，最大误差为11．62％。比较分 析表明：在特征尺寸相同的情况下，直脚型、蟹脚型、之字型和弓型静电梳状谐振器的横向谐振频率依次减小， 且都与谐振器的厚度无关；在特征尺寸和驱动电压相同的情况下，直脚型、蟹脚型、之字型和弓型静电梳状谐振 器的横向位移输出能力依次增加；直脚型、蟹脚型、之字型和弓型静电梳状谐振器的横向弹性系数，均只与材料 的杨氏模量和支撑梁的几何参数有关，而与横向位移无关。 关键词：微型机械(MEMS)：性能分析；静电横向微谐振器；支撑梁型式 文献标识码：A 中图分类号：THll2；TN305 PerformanceofLateral Comb-drive Compare Polysilicon TⅥicroresonatorswithDifferentFlexural Suspensions SHEN Xue-iin ofMechanical University，SlIanghai200072，China) (Department Automation，SlIanghai mechanicalmodelsoflateralvibrationofmicroresonators four Abstract：The suspendedrespectivelyby simple a托all differentbeam andmeanderbeams，which types．namelxstraJight—leg，crab—leg，flexuous superfluoussystems withfiveunknownvariablesandshowtheessentialofthe described．Thefunctionoftheresonant aspect problem．ar；e reso- coefficientandlateral resultsshowthatthetheoretical frequency．spring dis