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第12章 气敏、湿敏传感器 * * 电子信息及电气工程系 2、分类： 体型、表面型 电阻型、 非电阻型 二、 SnO2的工作原理 表面型/电阻型 12-1 半导体气敏传感器 一、概述 1、被测量：气体的类别、成分、浓度 气-电转换 SnO2的金红石结构 材料特点：多孔材料在晶体组织上使锡或氧偏离化学计量，造成氧不足（产生氧空位和锡原子间隙），在靠近禁带的地方形成施主能级，其上的电子很容易激发到导带。 RS 、 RU 对元件电阻起支配作用，受表面状态与晶粒大小的影响。 Rb RS RU Rb晶粒等效电阻 RS晶粒表面电阻 RU晶粒颈部电阻 平时SnO2在空气中放置，氧吸附在其表面形成吸附氧，从半导体表面获得电子，形成受主型表面能级，呈负电荷吸附状态，形成电子势垒。 气体 吸附 R增加 当接触还原性气体时，被测气体同吸附氧发生反应，减少了吸附氧的密度，降低的电子势垒，使R减少。添加催化剂可促进上述反应。 二、 SnO2的结构及相关参数 1、SnO2半导体气敏效应受以下因素影响： 1）SnO2的结构组成（氧空位多气敏效应明显）； 2）SnO2的添加物； 3）烧结温度和元件工作时的加热温度。 2、 烧结型SnO2半导体气敏元件 1）分类：SnO2气敏元件类型：烧结型、薄膜 型、厚膜型； 2）主要用途： 检测还原性气体、可燃性气体、液体蒸汽 ，工作时需加热到300度左右。 3）结构 直热式SnO2气敏元件 制作工艺简单、成本低、功耗小，可在高回路电压下使用，可制成价格低廉的可燃气体泄漏报警器（国内的QN、MQ型）。 旁热式SnO2气敏元件： 加热丝与测量极分开，避免了回路间的相互影响，增加了材料结构的稳定性、可靠性（型号有QM-N5）。 3、烧结型SnO2的相关参数 利用气体在半导体表面的氧化和还原反应导致敏感元件阻值发生变化而制成的。 吸附氧化性气体时， 电阻增大； 吸附还原性气体时，电阻减小。 1）灵敏度: K= RS /R0 K= RS (C2) /R0 (C1) 2）响应时间: Tres 3）恢复时间: Trec 4、SnO2的相关测试电路 洁净空气中的电阻——标准电阻 工作条件中的电阻——工作电阻 不同浓度中的电阻比 直流稳压 0-10V 直流稳压 0-20V QM-N5 RL 加热电源 工作电源 通过URL与气敏元件电阻RS电阻的对应关系可测得被测气体的状态。 五、应用 范围：检测易燃、易爆和有毒气体，环境气体（氧气、水蒸汽、大气污染），工业气体（CO1、CO2燃烧控制，烟雾（火灾报警）、司机呼出酒精检测等。检漏、报警、控制 12-2 半导体湿敏传感器 一、概述 1、几个概念： 湿度：指空气中所含有的水蒸汽量。 理想空气：氮78%，氧21%，其它成分1%（无水） 潮湿空气：理想空气与水蒸汽的混合体。 多尔顿定律：潮湿空气的全压应等于该混合物中各种气体分压之和。 2、湿度的表示方法和单位 1）水蒸气分压：根据多尔顿定律，只要测出潮湿空气中水蒸气的分压即可知道湿度。 但我们现在无法直接测出水蒸气的分压。 2）绝对湿度（AH）：单位体积内所含水蒸汽的质量（g/m3）。 3）相对湿度（RH）：气体的水蒸气分压与同温度下的饱和水蒸气压的比值； 另一种表示： 绝对湿度 同温度时饱和状态的绝对湿度 100% RH： 4）露点：保持压力一定而降低待测气体温度至某一数值时，待测气体中的水蒸汽达到饱和状态开始或结霜，此时的温度称为这种气体的露点或霜点。 二、湿度的测量方法与是湿敏元件 1、湿度的测量方法：绝对测湿法，干、湿球温度计，毛发计等，需目测或换算。 2、湿敏元件： 水分子亲和力型： 电解质式 高分子材料式 金属氧化物膜式 金属氧化物陶瓷式 非水分子亲和力型： 热敏电阻式 红外吸收式 微波式 超声波式 三、烧结型半导体湿敏元件（水分子亲和力型） 1、工作原理： 材料特点：多孔结构的多晶体，半导化过程造成氧元素过剩或不足，造成大量的电子空穴对，使 R