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《Temperature+Control+System+with+Multiclosed+Loops+for+Lithography+Projection+Lens》.pdf
CHINESEJOURNALOFMECHANICALENGINEERING
·207·
V01.22,No.2,2009
at
online
IX)I:10.3901/CJME.2009.02.207,availablewww.ejmeneLeom;WWW.cjmenet.eOlnCll
Control withMulti-dosed
TemperatureSystem Loops
for Lens
LithographyProjedion
ME HEyan2
Hongfeil,LI
Xiaopin91一,and
1 State
KeyLaboratoryManufacturingEquipment&Technology,HuazhongUniversity..
ofDigital
and 。
Technology,Wuhan430074,China
ofScience
2Tianhua Normal 201815,Chhta
College,ShanghaiUniversity,Shanghai
Received
May27,2008;revisedJanuary8,2009;acceptedJanuary22,2009;publishedelectronicallyFebruary6,2009
isOneofthemost of toolandisaffected
Abstract:Imagequality importantspecificationsopticalfithography notablybytemperature,
tointroduce
vibration.andcontaminationof methodoflocal conffoliseasier vibrationand
projectionlens(PL).Tradifionaltemperature
withmulti-closedis tocontrolthe insidethe to
contaminatioil。socontrol developed temperaturePL,and
temperamresystem loops
ilew
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