面向纳米压印光刻设备的精密定位工作台的设计方法和实验.pdf

摘要 本文以用于纳米压印光刻技术的精密定位工作台的开发为目标，深入系统地 研究了一种具有3平动自由度的空间柔性并联定位机构的创新结构设计、运动学 分析、刚度分析、静动力学分析、误差建模等关键技术，并建造了由压电陶瓷驱 动器驱动的精密定位工作台样机。取得了如下主要研究成果： 口以改进的DELTA并联机构为基础，将机构中的转动副用单自由度柔性铰链 代替，研制了一台具有3平动自由度的精密定位工作台。该定位工作台采用 多个压电陶瓷驱动器驱动方式，可实现末端位置的主动调整。 口采用“伪刚体模型”方法将该精密定位工作台分别等效为偏置式伪刚体模型 和非偏置式伪刚体模型，并利用齐次坐标变换方法和矢量闭环方法构建其 正、逆运动学模型，结合有限元分析比较两种模型的优劣，并以非偏置式伪 刚体模型作为后续分析的依据，以柔性铰链允许转角范围为约束条件分析工 作台可达工作空间，并以工作空间最大为目标进行机构参数的优化设计。 口考虑工作台重力势能和柔性铰链的弹性应变能，建立支链驱动刚度模型，为 压电陶瓷驱动器的选择提供依据。针对从动臂平行四边形结构，讨论不同约 束方式下，上下端连接横梁柔度特性对其输出刚度的影响。利用柔度矩阵和 位置变换矩阵相结合的方法，建立定位工作台输出刚度模型，分别讨论了杆 长、柔性铰链切口半径等几何参数的影响规律，并利用有限元仿真加以验证。 口利用虚功原理方法建立了机构的静力学模型，讨论了各构件质量、柔性铰链 刚度对动平台位置的影响作用。利用虚功原理方法和拉格朗日方程方法建立 机构的动力学模型，讨论了构件质量、柔性铰链刚度对驱动力矩的影响规律， 并结合不同的运动轨迹，将根据两种方法得到的动力学逆解模型进行对比， 说明其有效性。讨论了几何参数、柔性铰链刚度对系统固有频率的影响。 口综合考虑包括理论建模误差、杆长误差、柔性铰链加工误差、装配误差等多 种误差源形式，并以采用递推方式得到的运动学模型为基础，建立了定位工 作台全参数误差辨识模型，并进行了计算机仿真。 口最后，利用所建造的精密定位工作台样机，进行了运动学、静态刚度以及固 有频率试验，将试验结果与理论模型以及有限元仿真模型结果进行比较表明 所建立的理论模型以及所进行的相关理论分析是合理且有效的。 关键词：柔性机构，压印光刻，运动学建模，静刚度分析，动力学分析，误差 建模 ABSTRACT In to a for order precisionpositioningstagenanoimprintlithography,this develop relevanttomechanical dealswiththe issues dissertation key design，kinematic and andkinematiccalibration． dynamicmodeling modeling，stiffnessanalysis，static machineof3-DOF hasbeen Asa stage resuR，a piezo·drivencompliant prototype researchachievementshavebeen following completed． developed．The DELTAmechanismwith