浅析FFU在电子洁净室应用.pdfVIP

ApplicationofFFUtocleanroom AApppplliiccaattiioonnooffFFFFUUttoocclleeaannrroooomm 浅析FFU在电子洁净室的应用 Paper Code：S-097 覃建军 东莞市健升环境科技有限公司 摘要：重点阐述了 FFU 的特点及控制方式，并结合现代电子洁净室对空气洁净度等级的要求；分析 了 FFU 应用在洁净室中的优势，并介绍了 FFU 在实际工程案例中的应用。 关键词：FFU DC 干盘管 洁净室 空气洁净度等级 Abstract AAbbssttrraacctt：This article expounds the characteristic and the control manner of fan filter unit , analyzes the advantage of it aiming at the need of classification of electron clean room ,besides, take a example of project that actually use FFU to make a more particular explain. Keywords KKeeyywwoorrddss：fan filter unit dry coil clean room classification of clean room 随着科学技术的日新月异，尤其是军事工业、航天、电子和生物医药等工业的发展，促使洁净 技术的发展也随之突飞猛进。现代化工业产品生产和现代化科学实验活动要求微型化、精密化、高 纯度、高质量和高可靠性。电子计算机就是微型化产品中最具代表性的产品之一，电子管到半导体 分离器件到集成电路再到超大规模集成电路。特别是 20 世纪 80 年代大规模集成电路和超大集成电 路的迅速发展，大大促进洁净技术的发展。 一、概念及原理 Fan Filter Unit（风机过滤单元机组）简称 FFU，是由高效过滤器（HEPA）或超高效过滤器 。 氐4{E《矿 （ULPA）、微型风机、壳体组合而成的净化空调末端，其用于乱流及层流洁净室内。FFU 通常都是与 吊顶骨架配合使用，根据吊顶骨架的不同选择与之对应的 FFU。FFU 的洁净方式可以实现空气洁净度 等级要求闺在 ISO3∽ISO9（即 1 级∽100 万级）之间的洁净室。 凸《 常见的洁净室空气处理方式有两种，分别是 MAU+AHU+HEPA（以下简称 AHU 系统）和 MAU+FFU+DC 驯 ；8 干盘管（以下简称 FFU 系统）。通过对两种方式的比较得出：FFU 在净化空调系统中充当了净化循环 声 机组，洁净室的循环风量等于洁净室内 FFU 的风量总和。洁净室的空气是由 FFU 从洁净天花夹层中 ☆。 送进洁净室内，并通过回风夹道将循环空气再送回到天花夹层；循环空气在通过回风夹道时与安装 HVn # 在夹道中的 DC 干盘管进行热量交换。 ￥ ： s0 矗镕籼皓 图1 MAU+F