单晶硅生产技术.pptVIP

第三章 热系统和热场 Email:hufu08@ 乐山职业技术学院新能源工程系 胡釜 学习目标 掌握：热系统的安装与对中、热场的调整 理解：温度梯度与单晶生长 了解：动态热场 3.1热系统 包括加热器、保温罩、保温盖、托碗（石墨坩埚）、电极、热屏等。 直拉单晶炉的热系统材质 1）：高纯石墨 指标：灰分、抗压强度、硫含量、抗折强度、体积密度、电阻率、真密度、气孔率、纯度。 2）：碳/碳复合材料 加热器是热系统中最重要的部件，在直接的发热体，温度最高时达到1600℃以上，采用“等静压成型法” （CIP）生产的高纯石墨加工制作，形状为直筒式，每个半园筒各为一组，纵向开缝分瓣，形成串联电阻；两组并联后形成串并联回路。两组加在一起的总瓣数为4的整倍数,常用的有16、20、24或28瓣等。 石墨托碗分为上体和下体，上体又有单辫（即只开一条缝）、两瓣合体（平分为二、两条缝）及三瓣合体（等分三条缝）的区别；从节约成本、使用方便来比较，各有所长。 石墨托碗是用来盛装石英坩埚的，具有一定的强度，来承受硅料及坩埚的重量。硅料熔化完以后，石英坩埚的高度应该高于石墨托碗的高度（10-20mm），如果石英坩埚低于石墨托碗，容易造成掉渣影响成晶率。 托杆以及托座共同组成了托碗的支撑体，要求和下轴结合牢固，对中性良好，在下轴转动时，托杆及托座偏摆度≤0.5mm。 保温罩由保温罩内筒、外筒、面板及支撑环（