机器人纳米操作综述 .pdfVIP

基于 STM 及 AFM 的机器人纳米操作综述 科目名称：机器人纳米操作 专业：机械电子工程 姓名：龚小山 学号：201220100666 自 20 世纪 80 年代 BINNIG 等发明扫描隧道显微镜 (Scanning tunnel microscope, STM)及原子力显微镜 (Atomic force microscope, AFM)等扫描探针 显微镜以后，纳米科技研究得到了飞速的发展。纳米科技的最终目的之一是能够 从纳米尺度、甚至分子与原子水平上制造功能器件或系统，纳米操作 (与装配) 作为纳米制造的关键环节，在电子、信息、生物医学等领域具有重要研究意义和 价值。 相关研究人员已经研制出一些纳电子器件，如单电子晶体管、纳米场效应晶 管、纳米化学成分传感器等；另外，研究人员还研制出了各种纳机电原型器件， 如纳米旋转驱动器、纳机电震荡器、纳米镊等。上述纳米原型器件不仅在尺寸上 远小于常规器件，而且在一些关键性能指标方面也远超出常规器件，它们的研制 成功将会进一步加快各种纳米器件或系统的研制步伐。在上述研究中，需要解决 纳米微粒的精确操作与装配这一关键技术，基于 AFM 的纳米操