《多能MeV硼离子注入单晶硅形成特殊形状载流子分布》.pdf

第 卷 期 半 导 体 学 报 , 第 , 年 月 硼 注人 晶 多能 离子 单 硅形成 关 子 布 特殊形状载流 分 ’ ‘ 赵渭江 王 张 福 康 秀 宇钢 利春 虞 春 。。 北京大学重离子 理 究 北 物 研 所 京 , 。。 北京大学微 电子学研究所 北京 拼 , 摘 以在 型单晶硅表面 内实现 想平 状 型载流子分布 我们实 研究了 要 理 台 为例 验 , 多能 子注入形成特殊形状载流子 布 函 拟 叠加的 设 方法 先 用 离 分 的 数 合 计算机 计 首 , 扩展 电阻法 测量 温 速热退火 后 的载流子 布 对 能量 围内