退火质子交换铌酸锂光波导倍频特性研究.pdfVIP

退火质子交换铌酸锂光波导倍频特性研究∗ 黄章超，张双根，吕福云** （南开大学物理学院光电信息科学系，天津，300071 ） E-mail：lufy@ 摘 要：本文分析了退火质子交换法制作铌酸锂光波导过程中重要参量对折射率分布的影响； 利用有限元法，数值计算了在周期极化的退火质子交换光波导中，准相位匹配倍频的基波与 二次谐波的各阶模折射率和模场分布，分析了退火时间和退火温度对模场分布和波导模式数 的影响，为周期极化LiNbO3 光波导倍频器件的优化设计提供了理论依据。 关键词：光波导；有限元法；倍频；模场分布 中图分类号：TN242 1 引言 在激光扫描、信息存储和小型激光视盘等许多商业应用中,需要蓝绿光或更短波段的激 光光源，研制低成本、小型化、集成化的短波长光源成为光学研究领域的热点之一。实现短 波长输出的最有效方法，就是利用非线性晶体进行频率变换，其中倍频技术是最常用的。要 实现倍频输出，需要高倍频效率的非线性光学晶体。铌酸锂作为一种具有良好的非线性光学 特性和较大电光系数的铁电晶体，被大量用于集成光学器件的制作。另外，波导对光束有较 强的约束，使用非线性晶体微结构波导进行激光倍频，将基频光和二次谐波限制在波导内耦 合和传输，将大大提高倍频转换效率，获得高质量的光波输出。 目前在 LiNbO3 基底上制作光波导的方法主要有钛扩散法和退火质子交换法[1]两种。与 钛扩散法相比，退火质子交换法更具优点：波导制作温度低，形成波导的速度快；抗光损伤 能力比 Ti 扩散波导至少强四个数量级；折射率分布可以由后续的退火工艺在较大的范围内 得到调节。所以退火质子交换法得到广泛的运用。 常用的计算光波导中导模有效折射率和模场分布的方法为准解析法[2，3]，但是用于分析 近截止的导模时，其误差较大；而使用有限元法来分析光波导，则可以解决以上问题，其精 确度高、通用性强。特别是使用有限元法，可以分析任意折射率截面的光波导，求解时仅需 给出光波波长和波导中折射率分布，就能够求出所有光波模式的传播常数和模场分布。有限 元法的这些优点使其得到日趋广泛的应用[4]。在波导制作参数与光波导性质的关系上，前人 *基金项目：天津市南开大学弱光非线性光子学材料先进技术及制备教育部重点实验室, 国家自然科学基金 (批准号和高等学校博士学科点专项科研基金(批准号:20060055021) 1 做了很多工作[1-5]，但是缺乏较为系统全面的分析。 本文着重研究了光波导重要制作参数对折射率分布、模场性质和波导模式数的影响，分 析了退火质子交换过程中，退火时间和退火温度对光波导折射率分布的影响；计算了光波导 中基波和二次谐波各阶模折射率和模场分布；最后，讨论了退火时间和退火温度对模场分布 与波导模式数的影响，对光波导器件进行了优化设计。 2 退火时间和退火温度对铌酸锂退火质子交换光波导折射率分布的 影响 在退火后的铌酸锂质子交换光波导中，考虑到不同波长的色散，折射率增量δn(λ, z, y) 可以表示为： δn(λ, z, y) =Δn(λ) f (z)g ( y) （1） ⎡ ⎛ ⎞ ⎛ ⎞⎤ ⎛ ⎞ h h h 其中： ( ) 2 f z erf u erf u erf ⎢ ⎜ =+ +⎟ ⎜ − ⎟⎥ ⎜ ⎟ d d d