分频光栅的衍射特性及误差分析.pdfVIP

　第 16 卷 　第 9 期 强 激 光 与 粒 子 束 Vol. 16 ,No. 9 　 　2004 年 9 月 HIGH POWER LASER AND PARTICL E BEAMS Sep. ,2004 　 文章编号 : 　100124322 (2004) 0921166205 X 分频光栅的衍射特性及误差分析 1 ,2 2 1 2 邢德财 , 　杨李茗 , 　冯国英 , 　周礼书 ( 1. 四川大学 电子信息学院, 四川 成都 610064 ; 　2 . 成都精密光学工程研究中心, 四川 成都 610041) 　　摘 　要 : 　基于标量衍射理论推导出了分频光栅的各级衍射效率公式 ,分析了分频光栅的衍射特性 ,发现 入射光波在满足相应的相位延迟条件时 ,能被分频光栅以最大效率衍射进 3 个中央级次中的某一级。分析和 ( ) 比较了两种制作工艺中的刻蚀深度误差、占空比误差对衍射效率的影响。在惯性约束聚变 ICF 应用中 ,对于 同一要求的 3 倍频光的衍射效率范围 ,两种工艺的刻蚀误差容限是相同的 ,但是两种工艺的相同刻蚀误差却带 来不同的衍射效率。在不计其它误差时 , 占空比误差不会对3 倍频光的衍射效率产生影响 ,但可以对基频光和 2 倍频光产生相反的影响 , 占空比误差还可以使基频光和2 倍频光的主要衍射级次的效率都降低 , 同时增大它 们的 0 级衍射效率。 　　关键词 : 　分频光栅 ; 　衍射效率 ; 　刻蚀深度误差 ; 　占空比误差 　　中图分类号 : 　O436. 1 　　　　文献标识码 : 　A ( ) 　　分频光栅 color separation grating ,CSG 是一种重要的二元光学元件。早在 1978 年 ,Dammann 便用一个 分频光栅成功地将蓝、红、绿三色光分别衍射进光栅的 3 个中央衍射级次 ,即0 , + 1 , - 1 级[1 ] 。在 1999 年 ,Ben Layet 等人[2 ]又将分频光栅用于液晶显示中 ,用于替代其中的空间光过滤器 ,提高像素率 ,使结构更加紧凑。 目前,分频光栅也用于 ICF 终端光学装置中 ,将未转换的基频光和 2 倍频光从 3 倍频光中分离 ,使之偏离靶 面[3～6 ] 。目前已有若干文献[5 ,6 ]对其误差进行了分析 ,本文从标量理论出发 ,对分频光栅的衍射特性进行了分 析 ,并对两种制作工艺中的误差进行了分析和比较。 1 　标量衍射理论 　　CSG 是一种纯相位的三台阶二元光学元件 ,其结构如图 1 所 示。由于其特征宽度远大于光波波长 , 因此使用标量衍射理论来分 析其衍射特性是合理的。对于周期性的纯相位二元光学元件 ,在一 个周期内 ,其振幅透过率函数可表示为[5 ,7 ,8 ] N x - ζ ( ) ( k) ( φ) ( ) t x = rect exp j k 1 ∑ τ