金刚石刀具de圆柱母光栅微加工基础研究参考文献.pdfVIP

第 48卷 第 5期 天津大学学报 (自然科学与工程技术版) Vb1．48 NO．5 2014年 5月 JournalofTianjinUniversity(ScienceandTechnology) M ay2015 D0I：10．11784／tdxbz201402025 金刚石刀具的圆柱母光栅微加工基础研究 兀 伟 一，陈津平 一，徐宗伟 L2，刘 婷 1,2，曹克雄 1,2，李万里 ， (1．天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室，天津 300072； 2．天津市微纳制造技术工程中心，天津 300072) 摘 要：精密长光栅作为高档数控机床中的核心部件，其制造能力和精度直接影响着数控机床的制造水平．针对纳 米滚压印技术制备长光栅中的核心部件即圆柱母光栅的制造开展了深入研究，探讨了母光栅刻划用金刚石刀具的聚 焦离子束(FIB)制备技术，以及微刻划过程中切削参数对圆柱母光栅加工质量的影响规律．研究发现，聚焦离子束 加工单晶金刚石材料时会存在沟道效应，影响所制备的金刚石刀具及其加工母光栅的形状精度．从改善离子束束流 分布的均匀性、FIB加工参数优化等角度建立了有效克服 FIB加工沟道效应的方法．通过 DEFORM 有限元模拟实 验和超精密母光栅刻划实验 ，优化金刚石刀具刀尖角和微刻划加工速度，研究了抑制母光栅加工中微尺度毛刺的有 效方法。最终获得 了高精度母光栅刻划结果． 关键词：微纳制造 ；聚焦离子束 ；微刻划 ；金刚石刀具；沟道效应 中图分类号：TG51；TG63；TH162 文献标志码：A 文章编号：0493-2137(2015)05．0455．08 FundamentalResearchonCyclindricalGratingTemplate M icromachiningwithDiamondCuttingTool WuWei一，ChenJinping 一，XuZongwei一，LiuTing一，CaoKexiong 一，LiW anli’ (1．StateKeyLaboratoryofPrecisionMeasuringTechnologyandInstruments，TianjinUniversity， Ti阻jin300072，China；2．Cen~eofMicroNanoManufacturingTechnology，Tianjin300072，China) Abstract：Large—scalemicro—pitchgratingisthecoredeviceofhighprecisioncomputernumericalcontrol(CNC) machinetools，and itsmanufacturecapacityandaccuracydirectlyaffectsthelevelofmanufacturedCNCmachine tools．Inthispaper，thebasicresearchwasconductedformanufacturingthecylindricalgratingtemplatewhichisthe coredeviceinrollernanoimprinttechnology．Thekeyprocessinthefabricationofmicrodiamondtoolswithfocused ionbeam (FIB)andtheimpactsofchosenparametersinultra—precisionmachiningonthequalityofcylinrdicalgrating templateweresutdied．Itisofundthattheanisotropyofdiamondmaterialwouldcausechannelingeffectwhichwould degradetheshapeprecisionof