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应用于无处不在的无线连接中的射频微机电技术第二部分—应用
应用于无处不在的无线连接中的
射频微机电技术:
第二部分—应用
Hector J.De Los Santos,
Georg Fischer, Harrie A.C. Tilmans,
Joost T.M. van Beek
微机电技术(MEMS )在射频(RF)/微波系统中的应用正
对无线通讯产生革命性的作用[1]。事实上,射频微机电
可以制造性能优异的无源器件,如开关,可切换电容器
(2个状态),可变电容(变容器),电感,传输线及
谐振器,使其成为生产众多可用于家庭,移动通讯,太
空应用[2]如手机,基站,卫星系统中射频器件的首选技
术。这些系统的精华在于低功耗及其可重置性。因此,
微机电将成为无线系统生产的关键技术。本文旨在揭示
用射频微机电制造的可切换电容,变容器,开关在三类
系统如手提式无线系统,基站,卫星中的应用所产生的
影响及目前的发展现状。本文着重在系统层次上讨论了
射频微机电应用的动机,器件要求,规模生产,封装,
目前的性能现状及可靠性等方面的问题。
在第一部分,即前一篇文章中,我们讨论了射频微
机电的基本概念,特别是,制造技术(表面微细加工和
基片微细加工),以及它们各自的局限性,比较了几个
用于射频微机电器件的关键的驱动机理,和器件层次上
的封装技术。第二部分的组织如下:
• “射频微机电技术在手提式无线系统中的应
用”概述了目前的发展趋势,尤其是考虑到在
尺寸,功率效率的限制条件下将功能整合进入
射频无线系统中;射频无线系统的小型化一般
可通过将无源器件,特别是微机电开关和可变
电容集成来实现;射频微机电多种制造工艺的
选择,特别是处于主流地位的工艺过程
(CMOS ),可靠性和驱动电压,以及为达到小
型封装和集成目的所提出的系统级封装(SiP )
的概念。
• “射频微机电技术在基站中的应用”阐述了对
可重置基站结构的需求,包括所附属的如开关 ©1997 PHOTODISC, INC.
©1999 PHOTODISC
和变容器的要求,以及由射频微机电技术所开 ©EYEWIRE
发的电路研究方面的进展。
————————————————————————————————————————————
Hector J.De Los Santos(NanoMEMSLLC@)is with NanoMEMS Research, LLC Irvine, CA 92604 USA
Georg Fisher is with Lucent-Bell Labs Europe Nuremberg, Germany. Harrie A.C. Tilmans is with Inter-University Microelecltronics Center
(IMEC) Leluvern , Belgium.Joost T.M. van Beek is withi Philips Research Lalboratories Eindhoven, The Netherlands
50 IEEE microwave magazine December 2004
的环节。微机电欧姆式开关和可变电容具有其它任何半
• “射频微机电在太空领域的应用”讨论了其在 导体技术所不具备的极低的损耗和很高的线性度特性。
卫星和纳米卫星中的应用,包括开关的技术要 这些特性使得有可能通过加入低损耗可重置射频网络而
求,以及射频微机电移相器的最新进展。 将各种射频通信管道联合起来。在这种情况下,就可以
通过电路复用而减少将不同射频管道联合起来所需要的
射频微机电技术在手提式无线系统中的应用
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