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摘 要
功率器件作为集成电路的一个发展方向，其应用的范围不断扩大，VDMOS
晶体管作为功率器件中重要的一种，具有高输入阻抗、速度快、没有二次击穿等
优点。国内的各功率半导体厂家越来越多的投入到 VDMOS 研发当中。
本论文针对 600V/10A 高压大电流 VDMOS 功率晶体管作为主要研究对象，
分析 VDMOS 工作原理，设计一种适宜推向市场的 VDMOS 产品，并在电容特性
方面进行创新与探索性的研究。主要进行如下的工作：
1. 研究 VDMOS 功率器件的结构与工作原理；
2. 研究对应 600V/10A 的VDMOS 产品结构及参数特性，设计出一种可投产
试流的 600V/10A 产品版图；
3. 研究 600V/10A VDMOS 产品制造工艺，设计样品试流工艺，并完成样品
制作，获取一定特性数据；
4. 研究完成样品的电容特性数据，并进行软件仿真，研究优化电容参数方法。
关键词：功率器件，VDMOS ，电容特性，软件仿真
I
ABSTRACT
Power devices as a development of integrated circuits, application of increasing
scope, VDMOS transistor as an important kind of power devices with high input
impedance, fast, no secondary breakdown and so on. Domestic power semiconductor
manufacturers more and more into research and development in the VDMOS.
This thesis 600V/10A high current high voltage VDMOS power transistors as the
main object of study, analysis of VDMOS working principle, design a suitable product
to market VDMOS and capacitance characteristics in terms of innovation and
exploratory research.Mainly for the following work:
1. VDMOS power device structure and working principle;
2. products corresponding to 600V/10A the VDMOS structure and parameters of
features, has been designed for production test flow 600V/10A product layout;
3. Research 600V/10A VDMOS manufacturing process, design flow of sample
testing process, and finish the sample, to obtain certain characteristics of data;
4. Completion of the study sample data and the software simulation to study the
capacitance parameter optimization method.
Keywords: power devices,VDMOS, capacitance characteristics, software simulation
II
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