SrBi-%2c4-Ti-%2c4-O-%2c15-及CaBi-%2c4-Ti-%2c4-O-%2c15-铁电薄膜制备及性能.pdf

摘要 铋系层状结构铁电薄膜由于在Pt电极上具有良好的抗疲劳性能，成为目静国际 四层铋系钙钛矿结构材料，具有高度的各向异性和高的居里温度，在高温压电器件 中也有广阔的应用|；{『景。值得注意的是SBTi和CBTi的抗疲劳性能优于 究的报道还不多见。与所有的铋系钙钛矿材料一样，如何控制取向和降低矫顽场是 四层铋系钙钛矿铁电薄膜在各种器件应用中必须解决的两个关键问题。本文针对这 两个问题，从制各工艺、结构和性能之间的关系等方面对SBTi和CBTi进行了系统 的研究。 本论文中利用溶胶．凝胶法分别在硅衬底上和带有铂金电极的硅衬底上制备了 SBTi和CBTi薄膜。系统地研究了Bi含量、退火工艺(预处理温度、退火温度等)、 厚度和掺杂等因素对铁电薄膜的结构、表面形貌和铁电性能的影响。通过对SBTi 和CBTi铁电薄膜XRD衍射图谱，原子力显微镜和电滞回线结果的分析，本研究中 确定出了最佳的制备工艺参数。 l、本论文系统研究了热处理工艺对取向的影响。通过优化工艺条件在硅衬底 上成功地制备了(100)择优取向的SBTi铁电薄膜，并对其电学性能进行了测试。 结果表明：(1)过量Bi203的加入可以补偿高温烧结过程中Bi的挥发，抑制焦绿石 相的生成。同时适量Bi的加入可以提高晶体的晶化