薄膜变压器及电感器.pdfVIP

摘要 摘要 随着信息技术(IT)的快速发展，电子系统向高集成度、高复杂度方向发展， 必然要求在更小的基片上集成更多的元器件。除了依靠高密度集成技术的发展外， 从器件本身出发，只有研制小型化、薄膜化的器件，以减小系统的整体体积、重 量，才能达到减小功率损耗、提高信号传输效率的要求。而作为磁性元器件中最 重要的变压器、电感器，在现代射频通信电路中被广泛使用，特别是能与硅器件 一起集成的薄膜变压器、电感器，在国际上备受重视。而国内长期以来，由于受 薄膜磁芯材料、绕组材料、基片材料，包括制作技术及最为关键的设计技术限制， 尚未研发出能够用于这一应用领域的薄膜变压器、电感器。因而，本文的研究工 作正是从这里入手，从理论及实验上探索薄膜化的磁性集成器件一一变压器与电 感器。 在薄膜变压器研制方面，首先实验上从磁芯材料、薄膜变压器结构、薄膜制 作工艺等方面出发，设计和制作了多层薄膜叠加的I型薄膜变压器阵列，采用英 国Voltech公司的变压器综合测试仪测试薄膜变压器的初次级电感、品质因子、 串联等效电阻、插入损耗、分布电容等性能参数。分析讨论了磁芯薄膜的膜厚、 磁芯薄膜的分层数、磁路的开路与闭路等因素对薄膜变压器性能的影响