真空微电子触觉传感器阵列分析.pdf

甭庆人学坝fj论义 椭螫 、拣 要 ‘ ＼j． 7传感技术是目黼世乔上发展撼为迅速的披n术之一，鼹构成现代信息技 术的重要组成部分．传感技术发展的水平标志麓现代工业技术及生产力水甲 携离低，涤裁影鹂蓉霹家在世雾上滟竞争能力，因此，世舞各国都挺传感技术 舞为鬟蠡笈疆兹技术之一．特剽是蠡鼠80年代寒徽羹飘电系统(《EMS)技术 的崛起，从根本上改变了许多传统传感器的设计思想和制造方法，为传感器 的微型化、阵列化、熊成化、智能化的研究提供了新的技术基础．探索新原 理，裁缩梅、瑟功艇懿簧藩器及系统已或为髓赛各萤筑骚究热点，系绫深 入研究徽疆智能搀黪箍韵藕关藜硝理论霸关貔技术其青卡分重大豹辩掌意 义和潜在的应用前景一 本文作者在纵双了机器人传感技术，MEMS技术，真空微电子传感嚣技术 篷发震概况之后，试识戮辍器久蒋感接零戆主黉发曩方蠢楚趣摹～爨惑转商 阵列传感，融合式传感，智能传感，微型传感．特剐是能耐商低温、抗辐射、 高速度、低功耗、低电压、高密艘、高精度的触觉传感器的研究显得照为 追切．本文首次创造憋地提出利照M￡醛技术、徽电子技术秘真空电子披术 摇结合鹣方法，凌疆镦场蘩发射阴掇镶尖薄巅，囊空徽藏，臻太惑茭{l霪摄骥 构成的触觉敏感元以商密度的方式与信号读出电路实现…伴化三维集成的 新思想，从而构成一种新型的耐黼低温、抗辐射、高速度、离密度、低电压、 低功耗、凑灵敏、微楚纯兹集成粪空徽电子触撼僮感器婚剥，以满罡特耱餐 藐视器人麓齄觉要求。 、纹中对真空微咤l予触觉传感器{；；笨列的相关熬础理论和制造技术进行了较 深入系统的研究．成功地完成了真空微电子触觉传感器阵列的系统设计羊f】实 验聚究，黉点进行了荚镶戆疆投锥尖涮造按零糨罐台接术的实验磷究+分轿 了硅瘸镰枫理，溪搬雅尖锐诧寡理鞠键台氛理簿，取褥了满蕊瀚实验蘩黎+研 制的实骏样品锥尖密廉达到了3900／mm2．在外加1F向偏压为20V时，单尖发 射电流达到了0．2“A，反向击穿咆压大于40V。在动态定性测试中，样品赆有 显萋懿触觉簸盏．渫嚣已霆潢完戏，并显进一步褥弱了”863”诗鹫载资饕+卜 关键蠲： 真空微电子 触觉接感器 场致发射 MEMS 堕塑墨!婴些型尘!P!：翌-：婴!!鲤坚竺!堡黜蔓 ． …—— 苎堡!曼坠曼! A器STR轰C零 isoneofthe in the inrecent Sensingtechnology rapidly world technology years， Itisall ofinformation of important technology．Tho part developmentsensing isa ofmodemindustrial and the symbol force，affect technology productive itis as ofcotmtfies．So ability maintainedoneofmain competitive developed by