pbzrt;,0.4gt;tilt;,0.6gt;olt;,3gt;铁电电容器的集成研究.pdfVIP

摘 要 摘 要 采用溶胶-凝胶法制备 PbZr0.4Ti0.6O3 （PZT ）铁电薄膜，磁控溅射法生长 FePt 、Pt 等电极材料，架构了不同衬底和不同电极的 PZT 电容器。采用磁控溅射法生长阻挡层材 料，制备 FePt/PZT 铁电铁磁异质结薄膜。利用 X 射线衍射仪对样品进行结构测试，利 用铁电测试仪 (Precision LC Unit) 测试样品的铁电性能，LCR 测试仪测试介电常数， Keithley 数字源表测试漏电流，振动样品磁强计 (VSM) 测试铁磁性能。具体为： 研究了衬底对 PZT 铁电电容器结构和铁电性能的影响。实验发现生长在玻璃衬底上 比 生 长 在 Ti-Al/Si 基 片 上 的 La Sr CoO /Pb(Zr Ti )O /La Sr CoO 0.5 0.5 3 0.4 0.6 3 0.5 0.5 3 (LSCO/PZT/LSCO)铁电电容器异质结具有更好的铁电性能，玻璃基 LSCO/PZT/LSCO 铁 电电容器的剩余极化强度（P 2 ）为 28 μC/cm ，矫顽电压（V ）为 0.96 V ，而硅基 r c 2 LSCO/PZT/LSCO 铁电电容器的 P 为 25 μC/cm ，V 为 1.05 V。XRD 结果显示生长在两 r c 种衬底上的 PZT 薄膜均为钙钛矿结构多晶薄膜，结晶状态良好。 对比研究了 Pt/PZT/Pt 和 FePt/PZT/Pt 电容器结构和铁电性能的区别。X 射线衍射图 谱显示两种电容器的 PZT 薄膜均结晶状态良好，铁电测试结果显示 FePt 上电极的 PZT 电容器与Pt 上电极 PZT 电容器相比，抗疲劳性能明显提高，介电常数更大。在50 kHz 9 次极化翻转 FePt/PZT/Pt 的净极化强度下降 57%，而Pt/PZT/Pt 净极 翻转频率下经过 10 化强度下降了 82%，表明即使是金属形式的 FePt 电极同样可以提高PZT 电容器的抗疲 劳性能。FePt/PZT/Pt 和 Pt/PZT/Pt 在 1 kHz 测试频率下测得的相对介电常数分别为 980 和 770 。高分辨透射电子显微镜照片显示 FePt/PZT 界面清晰分明而 Pt/PZT 界面模糊， 说明 FePt/PZT 界面优于 Pt/PZT 界面。另外无序的 FePt 是一种软磁性材料，在外加电场 的作用下FePt/PZT/Pt 表现出了一定的磁电耦合效应。 研究发现 Ti-Al/MgO 和 Ni-Al/MgO 双层阻挡层可以有效阻止高温退火过程中 PZT 与 FePt 之 间 的 氧 扩 散 。 Pt/PZT/Ti-Al/MgO/FePt/SiO /Si 和 2 Pt/PZT/Pt/Ni-Al/MgO/FePt/SiO2/Si 异质结均同时具有铁电性和铁磁性，该实验结果为进 一步探索铁磁铁电异质结薄膜的集成和研究磁电耦合效应打下了基础。 关键词 铁电性 Pb(Zr0.4Ti0.6)O3 集成 异质结 FePt I Abstract