扫描电子显学中二次电子产生的monte carlo模拟.pdfVIP

摘要 摘要 二次电子是扫描电子显微镜中最为基础和常用的信号。同时，实验中所测 得的二次电子信号的产生也是最为复杂的。由理论计算来得N--次电子的产额 以及能谱，并与实验进行对比分析有助于加深对二次电子产生的理解，进而对 实验中如何更有效的得到和利用二次电子有着重要的意义。本文首先简单介绍 扫描电子显微镜的原理及目前的发展情况，概述了电子与固体相互作用研究的 发展，以及实验中二次电子相关的现象及其原理。(第l章) 二次电子产生的与电子在固体中复杂的输运过程紧密相关。理论上，很难 Carlo模拟来 通过解析公式得到二次电子的产额以及能谱，因此我们使用Monte 得到所需要的结果。电子在固体中的输运过程一般可以简化为电子与固体之间 一系列的弹性或者非弹性碰撞以及在连续两次碰撞之间电子自由飞行的过程。 这两种不同的碰撞可以通过相应的理论来进行描述。弹性碰撞已经有了较为透 彻的研究，人们发现Mott弹性散射截面可以较为准确的描述电子在固体中的弹 性散射。而对于非弹性散射，Penn提出的基