氮离子在射电极的能量分布及电子碰撞率数值模拟研究.pdfVIP

摘 要 使用 PIC-MCC 方法对氮气容性耦合射频辉光放电在射频电极处的离子能量 分布和角度分布进行了数值模拟；计算了整个放电空间的电子碰撞激发率，电离 率，离解率和离解电离率。模拟过程中考虑了电子与背景气体（氮分子N 2 ）的 各种碰撞，以及两种离子（氮分子离子N 2+ 和氮原子离子N + ）与背景气体（氮 分子N 2 ）的碰撞；忽略了电子与离子之间的碰撞过程。具体工作如下所示： 1. 建立了氮气射频放电等离子体过程的PIC/MCC 自洽的混合模型，其中带电 粒子在电场中的运动及其产生的自洽场由PIC方法描述，粒子间的碰撞过程 由MCC方法描述。用Fortran语言结合模型编写了一维的PIC/MCC模拟程 序，模拟了氮气射频放电的物理过程。 2. 计算了氮气射频等离子体中射频电极处离子的能量分布和角度分布，及其随 气压和电压幅值的变化。 3. 计算了氮气射频等离子体中整个放电空间电子碰撞激发率，电离率，离解率 和离解电离率的分布，同时还计算了其随放电气压和电压幅值的变化情况。 4. 为了保证程序的准确性，与氮气的电子能量分布的实验结果进行了比较，结 果比较吻合。 总之，氮气射频