水溶液体系沉积smco薄膜的制备工艺及微结构的研究.pdfVIP

摘要 摘要 由于SmCo薄膜具有非常好的磁性，使其在高密度磁存储器和微 机电系统(MEMS)上具有重要的应用前景。本文采用直流电沉积方法， 从水溶液中制备了Co及SmCo合金薄膜。其具体的工作如下： 1．采用直流恒压电沉积法制备了Co单质薄膜。通过扫描电镜(SEM) 对所制备的Co薄膜进行了形貌观测。观测表明，沉积膜表面上的颗 检测Co沉积膜的结构，结果表明，沉积膜具有六方晶体结构。 2．采用直流恒压电沉积法制备了Sm-Co合金薄膜。 通过能谱分析仪(EDS)检测了沉积膜的成份，检测结果表明： 在镀液中没有甘氨酸的情况下，沉积膜沉积膜中只有Co的成份；而 有甘氨酸存在的情况下，沉积膜中含有Sm、Co的成份，说明，要使 Sm离子在Co离子的诱导下发生了共沉积，必须要有甘氨酸的存在。 而且，沉积膜中的成份会随电压的变化而发生变化，实验结果表明， 当电压较低的时候，随着电压的升高，沉积膜中Sm的含量增加，但 是当电压达到某一值时，沉积膜中Sm的含量，随着电压的升高反而 会下降。 利用X射线衍射仪(XRD)检测了热处理前后沉积膜的结构。结