磁控反应溅制备tinaln双层薄膜及性能的研究.pdfVIP

jIIIlIIII IIIIIllItIII IIIII 1 11 9434 Y1 摘要 摘要 在工业应用中通过表面涂层技术来提高切割工具、轴承、模具等的寿命是 非常重要的，因此低摩擦系数、高硬度及耐腐蚀和抗氧化的涂层材料一直受到 人们的重视。金属碳化物和氮化物是常用的硬质涂层材料。过渡金属氮化物特 别是TiN，常被用来做工模具的防护涂层。但是单层薄膜的性能无法满足应用上 越来越苛刻的要求，这种情况下，具有更高硬度、耐腐蚀性及抗氧化性的双层 和多层复合涂层技术开始广泛应用。 本文采用直流反应磁控溅射法在P型Si(111)基底上制备了单层TiN薄膜、 单层触N薄膜和TiN／AlN双层薄膜。 本文第一部分研究了溅射气压、溅