纯相位液晶间光调制器的性能及其微衍射元件研究.pdfVIP

纯相位液晶空间光调制器的性能及其微衍射元件研究 摘要 微光学是微光机电系统的三大组成部分之一，代表了信息光学发展的一个方 向。微光学元件广泛用于光纤传感、光学信息处理、成像系统、光通讯、光计算、 光互连、光存储等应用研究领域。可变微光学元件在成像、波前校正、光互连等方 面有着广泛的应用。电控液晶空间光调制器因其具有衍射效率高、控制简单方便、 反应快速等优点，成为当前研究的热点。纯相位液晶空间光调制器因消除了对振幅 的调制，进一步提高了衍射效率。利用纯相位液晶空间光调制器来实现微结构光学 衍射元件具有良好的应用前景。 本文简要介绍了空间光调制器和微光学元件的发展及现状，对实验中所使用的 纯相位液晶空间光调制器的主要性能参数进行了说明。通过对液晶的光电特性的介 绍，分析了液晶对光的相位调制原理和特点。对比了几种空间光调制器相位调制特 性测量方法，选择泰曼一格林干涉法进行实验测量，通过编程处理得到了该器件的 相位调制特性。通过分析比较，优化了相位调制特性，修正了该器件的客户查找表， 提高了测量精度，与理想的调制曲线的相关系数由原来的0．982806提升到 0．995267。 相息图仅产生单一的成像光波，没有共轭像或多余的衍射级次，衍射效率很高， 是一种