脉冲激光烧等离子体和ecr放电器等离子体相互作用的光谱研究.pdfVIP

脉冲激光烧蚀等离子体和ECR放电等离子体相互作用的光谱研究 摘要 脉冲激光烧蚀等离子体和ECR放电等离子体 相互作用的光谱研究 摘要 Laser 本论文的研究对象为对固体的脉冲激光烧蚀(PulsedAblation，PLA) Cyclotron 要通过等离子体发射光谱的测量分析来研究这两类等离子体及它们之间的相互 作用，了解其特性和时空演变规律，也为相关的一些技术应用提供参考。内容可 分为两大部分：ECR放电氮等离子体和激光烧蚀铝靶产生的PLA铝等离子体及 它们之间的相互作用；ECR放电氮等离子体和激光烧蚀B4C靶产生的PLA碳硼 等离子体及它们之间的相互作用。 近年来，脉冲激光烧蚀在薄膜材料沉积、成分分析、材料加工处理等方面取 Laser 得了成功的应用。例如，基于脉冲激光烧蚀的脉冲激光沉积(Pulsed Deposition，PLD)方法