长位型低频等离子体实验与模拟研究.pdf

摘要 摘要 等离子体的性质不仅与等离子体的激发方式有关，而且受到电极位型、结构 与材料等的影响。另一方面，针对不同应用工艺的一些非常规位型等离子体源， 由于位型的特殊性，给等离子体特性研究带来～定难度，而对等离子体特性的研 究是理解放电机理和进一步优化设计所必需的。 论文在宽气压范围内对长位型和微离子体源展开研究。从实验和数值模拟两 方面，重点研究了低气压长位型冷等离子体源放电物理机制；研发了大气压条件 下点位型和长位型二种射流冷等离子体源；初步研究了这些非常规位型的等离子 体源在材料领域中的应用。 低频低气压长位型冷等离子体的放电位型比较特殊，诊断起来有一定的难 度，目前对放电机理的研究还不够。论文采用圆柱非对称双探针对低频低气压长 位型冷等离子体进行诊断研究。诊断结果表明：氩气为工作气体，气压为50Pa， 电源频率为10KHz的典型放电条件下，长位型等离子体存在着大量的高能电子 还表明长位型等离子体在功率电极附近有相对较高的电子温度和密度，而地电极， 附近的电子温度和密度与体等离子体相似。 改变放电电压对功率电极附近的电子温度和密度影响很大，但对远离功率电 极的等离子体