knsbnsbn电光薄膜光学特性研究.pdfVIP

题 目： 型 选 生B一 专 业： 硕士学位申请人： 指导教师： 暑墨遨邀 摘 要 钨青铜型结构钾钠铌酸锶钡(KNSBN)和铌酸锶钡(SBN)电光薄膜材料， 具有电光系数大、机械性能好、无90。畴以及成本低、成膜面积大、易集成等优 点，是一类性能优良的无铅环保电光薄膜材料，在微电子、光电子、光信息处理 等领域有着广泛的应用前景，受到了人们的广泛重视和研究．准确检测电光薄膜 的电光、光学性能参数是进行电光器件应用的前提条件，所以，选择开展KNsBN 和SBN电光薄膜的电光及光学特性研究具有重要意义． 本文在分析、总结铁电、电光薄膜材料的生长制备及应用研究现状的基础上， 着重对脉冲激光沉积(PLD)法生长翻备出的钾钠铌酸锶钡(KNSBN)和铌酸锯钡 (SBN)电光薄膜，用X．射线衍射仅、扫描电镜、激光显徽拉曼光诺仪、自搭建 的电光效应测量系统进行了测量研究，得到了薄膜的微观结构，厚度、拉曼谱、 光学常数和电光系数等重要参数，其主要内容如下： 电光薄膜为外延膜，薄膜的(00D取向是沿着MgO衬底表面垂