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MOEMS光开关阵列芯片的研究 摘要 快速发展的光通信技术促使全光通信网络浮出水面，全光网络的发展依赖于 光开关技术的进步。过去几年间，各种各样的技术被用于光开关的研究。和其他 技术相比，MOEMS光开关技术显示了无法比拟的技术优势。因此基于MOEMS 技术的光开关将成为下一代全光通信网络的关键光器件。 首先，从光开关在全光网络的应用出发，比较了各种光开关技术的性能。基 于MOEMS技术的光开关和其他技术类型的光开关相比显然具有更多的优良性 能，例如波长透明和偏振无关等。叙述了国内外目前为止MOEMS光开关技术 的发展现状。提出了一种基于静电驱动和垂直微反射镜技术的MOEMS光开关。 其次，分析了光开关微反射镜的反射特性，然后推导了归一化的光开关静电 驱动结构力矩平衡特性方程。另外，讨论了各个静电驱动结构参数对驱动电压的 影响。随后，计算了光开关的固有频率，并且分析了光开关的开关速度。 第三，使用MSCPa订an有限元软件对静电驱动结构进行了建模，并利用有 限元分析了各部分的应力分布，对机械结构进行了可靠性分析。 最后，研究了各向异性腐蚀的机理，设计了MOEMS光开关阵列芯片的制 作工艺。使用KOH各向异性腐蚀液制作了垂直微反射镜阵列，并对实验结果进 行了分析和讨论。 关键词：MOEMS，光开关，静电驱动，有限元，各向异性腐蚀 MOEMS光开关阵，·l芯片的研宄 Abstract of communication the Explosivegrowthoptical technologypromotesemerging ofall ofAON onthe opficmnetworks(AON)．Thedevelopmentdepends advancementof switch afew a of yearsvariety optical technology．Forpast as havebeenstudiedcandidatesfor switches．MOEMS technologies opdcal has overother unparalleledadvantages technologies．So switchingtechnologypresent switchbasedonMOEMS willbeakey deviceinthenext optical technology optical communication generationoptical system． the of switchin of switch opfical AON，avarietyoptical Firstly,fromapplication basedonMOEMS are switch technology technologiesbeingcompared．Optical