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几种介质光栅的衍射特性研究 光学专业 研究生：邢德财 指导教师：冯国英 摘 要 本文的研究工作主要是解决光栅应用中的正问题，即根据光栅的几何参数、 物理参数和必要的入射场信息，确定光栅的衍射行为。具体点说，、就是用严格矢 量耦合波理论和标量衍射理论来研究光栅的衍射问题，建立光栅衍射问题的分析 工具，并对分频光栅、光束取样光栅和偏振光栅进行较为详细的研究。主要内容 包括以下几个方面： 1．光栅基础知识的归纳和推导。 本文对光栅的基础知识进行了一次较为全面的归纳，具体包括光栅的分类、 基本性质(即色散、分束、偏振和位相匹配)、Rayleigh展开式、互易定理、等 效规则、反常现象和相位移动定理；并推导出了广义光栅方程、广义色散公式、 光栅约束不等式和一些常见光栅的标量衍射效率，给出了求算标量衍射效率，包 括其解析式的通用方法。这些性质和理论对光栅的设计和应用具有较大的价值。 2．严格矢量耦合波理论的研究和光栅分析软件的编制。 传统的标量衍射理论不能解决亚波长区和共振区的光栅衍射问题，必须求助 于矢量衍射理论。严格矢量耦合波理论是目前较常用的一种光栅矢量算法，本文 详细推导了严格耦合波理论用于求算一维矩形光栅和任意面形光栅的各个步骤， 采用增强透射矩阵算法解决其用于多层结构时的不稳定性，并对最终的矩阵结果 进行了变形，使之利于求解。然后在此基础上编译了光栅分析软件 色软件。并且软件界面友好，功能较为强大，不但能计算正弦光栅、对称三角形 光栅、对称梯形光栅、锯齿光栅和任意面形光栅在给定参数下的衍射效率，而且 还能绘制上述光栅的衍射效率与入射角、波长、周期、刻槽深度的关系曲线图。 快，收敛性高等优点。 我们也用耦合波理论研究了光栅的几何参数和入射场参数对光栅衍射行为 的影响，也研究了保留谐波数对衍射效率收敛性的影响。由于我们采用等厚多层 近似法来等效任意面形的光栅，因此，我们也研究了薄层数与衍射效率收敛性的 关系，还验证了光栅的互易定理和等效规则。 3．分频光栅、光束取样光栅和偏振光栅的研究。 分频光栅和光束取样光栅是ICF(惯性约束聚变)终端光学元件的重要组成元 件，其研究得到了各国光学界的重视。本文研究了分频光栅和光束取样光栅的衍 射特性以及它们的加工工艺，分析了工艺中的难点。还分析和比较了分频光栅的 两种制作工艺中的误差，包括对准误差、入射角误差、刻蚀深度误差、占空比误 差对其衍射行为的影响，并用等周期的正弦光栅和矩形光栅作为光束取样光栅的 近似，研究了它的一些特性，我们研究表明等周期的正弦光栅和矩形光栅都能很 好地近似光束取样光栅，不过，从制作的难易程度上考虑，矩形光栅具有更好的 现实可行性。 偏振光栅是一种较为新型的偏振光学元件，国外对此进行了大量的研究，发 表了若干研究成果，而我们还没见到国内有关这方面的学术报道。本文研究了偏 振光栅的偏振特性和衍射特性，并对其作为光开关和偏振光分束器进行了讨论， 介绍了由光栅矢量确定光栅函数的方法，这对偏振光栅的设计和制作都具有较大 的参考价值。 关键词：严格矢量耦合波理论增强透射矩阵法分频光栅光束取样光栅偏 振光栅 +本课题得到中国工程物理研究院与国家自然基金委的联合资助 。 II ofSeveral onDiffractionCharacteristics Study Dielectric Gratings MaiorOptics Deeai Xing GuoyingFeng； Postgraduate Spuervisors ABSTRACT Withthe