大气压射流等离子体的产生和特性研究.pdf

中国科学技术大学博=b论文 摘要 摘要 大气压放电因为不需要真空系统，便于工业应用。正是这个原因，有关大气 压产生稳定的非平衡等离子体的放电，特别是大气压辉光放电的研究，已经成为 国内外低温等离子体领域的一个研究热点。 近来，几种新颖的大气压等离子体源装置被研制出来，例如，一个大气压均 匀辉光放电、大气压表面放电和大气压射流冷等离子体等。 大气压射流冷等离子体由于等离子体可以形成在放电区域之外，而且气体温 度较低，用于材料处理时不仅减小了高温对物体表面带来的损伤，而且还可克服 放电区域狭小给处理工作带来的不便，有利于处理体积大或复杂的物体，而且大 气压射流冷等离子体可以在开放的环境中通入其他(非空气)气体进行工作，可 以说大气压冷射流等离子体是大气压下产生非平衡等离子体的一种新的形式，已 经受到越来越多的关注。 但是目前大气压射流冷等离子体的气体温度还是比较高的，达到50．3000C， 这样就不适合处理一些不耐高温的物体；此外这种等离子体装置的处理面积较 小，有待进一步改进。 为了改进大气压射流等离子体的不足，我们设计了几种大气压射流冷等离子 体发