cu～+-a～+离子交换玻璃波导的制备及特性研究.pdfVIP

摘要 摘要 离子交换技术，制各了平面光波导，并对它们的离子交换过程以及折射率分布进 行了表征和分析，得到的主要结果如下： 导，用棱镜耦合技术测量出所制备波导的有效折射率，用反WKB方法确定 了波导的折射率分布。通过对波导折射率分布的计算机拟合(拟合误差为 ±O13976)，得到Soda—lime玻璃平面光波导的折射率分布近似为高斯函数分 布。表面折射率n。=1．5315；扩散厚度d=8．1673，扩散系数 D。≈2．223×10113m2／s。 2．对离子交换后的soda．1ime玻璃和BK7玻璃波导进行了EPR顺磁共振测试， 通过比对标准Cu+图谱，证明了在整个离子交换过程中主要参与交换的离子 源的是Cu+。 3． 首次，在5700C的温度下，通过单步Cu—LNa+离子交换制备了BK7玻璃掩埋 平面光波导，用反一WKB方法确定了波导的折射率分布。通过对波导折射率 分布的计算机拟合，发现BK7玻璃平面光波导的折射率分布近似为“改进” 的高斯函数分布，既具有掩埋波导的折射率分布特征。得到表面折射率 D。z1．2133×10-14m2／s。对离子交换过的BK7玻璃样品进行的电子显微镜扫 描(EMS)和次级离子质谱(SIMS)测试均证实所制各的波导是一个掩埋式 的平面光波导。 关键字：集成光学、Cu+_Na+离子交换、玻璃平面光波导、单步掩埋波导 on andfabrication Investigationproperties ofCu+-Na+ ion—exchangeglasswaveguides WangPengfei(Optics) Abstract Directed Jie byDr．Zheng Wefabricated Cu+-Nr glassplanaropticalwaveguidesbyusing ion-exchange 011soda-limeandBK7 the technology glasssubstrates，analyzedion—exchange process andthe of indexdistribution．Theresultswhichwe are refractive obtained profiles below： given 1．Planar werefabricated on opticalwaveguides byCu+_Na+ion-exchange soda-limesubstrateat T=5800C．Theeffectiverefractiveindexwas glass measured atthe of632．8nm．Refractive byprism—couplingtechniquewavelet【gth determinedInverse—WKBmethod．Resultsare index was by profile compared withmathematical index