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fe-zrb磁性薄膜的制备与研究
Fe．Zr-B磁性薄膜的制备‘j研究 摘舞
摘 要
本论文主要研究了Fe—Zr—B磁性薄膜的制备工艺和结构性能，获得了良
好性能的薄膜，并讨论了其中的机理。文中采用直流磁控溅射技术制备了
XRD，TEM，XPS，蕉堑堡盈i普芒等测试方法对薄膜的结
Fe—zr—B薄膜，,．IJm
构进行了表征。结果表明沉积态的薄膜均为非晶态，XPS显示沉积态薄膜表
L
面Fe，Zr，B元素均有不同程度的氧化，较深层部分以Fe、Zr、B结合为主，
这是由于制备好的样品在大气中保存造成的。穆斯堡尔谱为展宽的六峰谱，
相对于零速度峰比较对称，为典型的非晶合会谱。分布参数程序拟合结果显
示薄膜内没有形成可以检测的n—Fe相，Zr，B的存在使磁超精细场分布呈双
峰结构，并且使Fe原子核处超精细场下降。j／
U
厂
等对薄膜的结构和磁性能进行了测试魅果表明薄膜在5500C退火90分钟后，
XRD谱中出现了尖锐的衍射峰，分析认为薄膜退火后己形成部分bcc相，峰
为(110)面衍射峰。VSM表明薄膜经过热处理后，磁性能得到了改善，在
200kA／m磁场激励下薄膜的磁感应强度达到了1．42T，薄膜矫顽力明显下降，
这是退火后薄膜已成为bcc相和非晶相混合结构的缘故。^
关键词： Fe—Zr—B薄膜软磁性能
直流磁控溅射非晶相bcc相
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●
Abstract
and instruments
ofe1ectroniC
The magnetic encourages
development
ofsoft fiimmaterials akindof
magnetic nowadays．As
investigation
soft havearousedattentionto
materials，Fe—Zr—B great
good magnetic
beendone．
andlotsofresearchworkhave
researchers
thinfilmshavebeen
Inthisdissertation．Fe—Zr—B prepared，then
their hayebeenstudiedandthemechanisms
structures，properties
been Fe—Zr—Bthinfiimswere
of soft has exp]ained．
good magnetic
tedoncommon substrat
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