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ABSTRACT MgO：LiNb03波导调制器的设计和研制 摘要 本课题研制的MgO：LiNbO，电光波导调制器，应用于激光惯性约束核聚 为质子源，由质子交换制备了平面波导样品，建立了质子交换的扩散方程；通 过一系列退火实验，掌握了质子交换波导的光学参数随退火的变化规律：结合 光波导传输理论和实验得到的扩散规律和退火规律，完成单模条波导的实验制 备，实验上观察了条波导的模场分布。系统论述了行波电极设计原理，完成了 满足高速带宽要求的行波电极的设计。 ， f本文首先系统研究了质子交换波导的光学特性。以苯甲酸为质子源在Y ＼ 2200C，2400C三个交换温度，在每一个交换温度下选择三个不同的交换时间 制备了质子交换平面波导。由棱镜耦合法测量所制备的平面波导的有效折射 率，利用逆WKB法模拟其折射率分布，并得到平面波导的交换深度。 通过模拟质子交换波导的折射率分布，验证了Y切MgO：LiNbO，和z切 LiNbO，质子交换波导的折射率分布的线性阶跃性。将阶跃和线性阶跃模型的 理论有效折射率值和实验测得的有效折射率值分别进行了比较，发现线性阶跃 品的折射率分布发现，Y切MgO：LiNbO，的折射率分布较平坦，用简单阶跃 模型来模拟折射率分布已能满足一般计算精度要求：而z切LiNbO，的折射率 分布线性阶跃性更为明显，必须用线性阶跃模型来模拟。 在一定交换温度下，交换深度和交换时间平方根存在着线性关系，从而 得到每个交换温度下的有效扩散系数，当前实验条件下的扩散常数和激活能， ABSTRACT 质子交换波导的扩散特性进行了分析比较。 子交换平面波导进行累积退火，每次退火后测量波导的有效折射率，并用逆 WKB法模拟各个退火条件下质子交换平面波导的折射率分布。结果表明，退 火使波导有效折射率降低，同时波导层不断向衬底方向延伸，并伴随模式增加 现象：波导折射率分布经历了一系列的变化，渐变性越来越明显；退火温度是 决定退火后波导特性的关键：退火温度越高，有效折射率降低得越快，降低的 幅度也很大，而且表面折射率降低的大小幅度最终是由退火温度决定，而非退 火时间。 将质子交换实验中得到的扩散方程、退火规律和单模条波导的理论设计 相结合，并与实际实验环境磨合修正后，完成单模条波导的制作，观察了条波导的模 场分布。实验表明：在2000C交换少于一小时，或在2400C交换少于半小时所 得到的条波导(宽度小于6um)是单模条波导。在4000C退火时间小于半小时， 波导的模数一般保持不变，即退火前的单模质子交换波导仍保持单模。 根据行波电极设计原理，得到了行波电极的特征阻抗，微波有效折射率， 衰减系数，带宽及驱动电压与行波电极结构参数之间的关系。设计中综合考虑 了微波和光波的位相速度匹配，低半波电医和驱动源特征阻抗匹配，微波损耗 等因素相互之间的影响，进行多次优化设计，完成了带宽为5～6GHz的行波 } 电极的设计。卜∥，。一 关键字：光波导，质子交换，扩散特性，退火，行波电极 ABSTRACT DESIGNAND DEVELoPMENTOF WAVEGUIDE ON MODULATOR MgO：LiNb03 ABSTRACT The on modulator in was waveguide used optical MgO：LiNb03 pre